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汪子文

作品数：18 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：金属学及工艺一般工业技术文化科学电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 11个一般工业技术
  • 9个电子电信
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  • 7个金属学及工艺
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主题

  • 12个离子注入
  • 12个绝缘
  • 12个绝缘体
  • 12个光刻
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  • 11个石墨
  • 11个石墨烯
  • 11个退火
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  • 10个键合
  • 10个光刻胶
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  • 9个退火过程
  • 9个气相
  • 9个埋氧层
  • 9个合金
  • 8个低剂量
  • 8个形貌
  • 8个体硅

机构

  • 12个中国科学院
  • 3个中国科学院研...
  • 2个清华大学
  • 2个中国科学院上...
  • 2个上海新傲科技...
  • 1个西南交通大学
  • 1个山东大学
  • 1个上海交通大学
  • 1个中科院上海微...

资助

  • 7个国家重点基础...
  • 6个国家自然科学...
  • 5个上海市自然科...
  • 4个上海市科学技...
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  • 4个国家科技重大...
  • 4个国家教育部博...
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  • 3个“上海－应用...
  • 3个创新研究群体...
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传媒

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  • 6个物理学报
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  • 5个科学通报
  • 5个材料导报
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  • 2个第十三届全国...
  • 1个稀有金属材料...
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  • 1个金属学报
  • 1个高能物理与核...

地区

  • 10个上海市
  • 2个北京市
共 12 条 记 录，以下是 1-10
薛忠营
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：衬底 石墨烯 绝缘体 弛豫 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
狄增峰
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 绝缘体 衬底 锗 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张苗
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王刚
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 绝缘体 键合 离子注入 单晶薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴家赟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 绝缘体 键合 半导体材料 绝缘衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑晓虎
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 绝缘体 衬底 绝缘衬底 长腔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王曦
供职机构：清华大学
研究主题：衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏星
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：衬底 弛豫 超晶格 光刻胶 绝缘体上硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马骏
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 衬底 离子注入技术 离子 半导体行业
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈猛
供职机构：清华大学
研究主题：注氧隔离 SOI 高温退火 SIMOX 低剂量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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