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柏松

作品数：114 被引量：14H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学一般工业技术更多>>

合作作者

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中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：碳化硅 芯片 金属 外延层 刻蚀
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