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鲁进军

作品数：3 被引量：27H指数：2
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领域

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地区

  • 11个北京市
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周旗钢
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林霖
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘大力
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：SI 拉速 外延片 SP1 沉积厚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘斌
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：氧沉淀 微缺陷 多晶硅 硅片 CZ硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王继
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光 表面形貌
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李俊峰
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 HF RCA清洗 硅片清洗 声波
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
常麟
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：直拉硅单晶 氧浓度 数值模拟 有限元分析 SI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李耀东
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 化学机械抛光 超大规模集成电路 300MM硅片 表面形貌
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢立延
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 硅抛光片 氧浓度 数值模拟 直拉硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫志瑞
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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