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刘方方

作品数：2 被引量：4H指数：1
供职机构：合肥工业大学更多>>
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合作作者

领域

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主题

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机构

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传媒

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地区

  • 2个安徽省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
展明浩
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院
研究主题：ICP 工艺参数 刻蚀 ICP刻蚀 高深宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许高斌
供职机构：合肥工业大学
研究主题：多晶硅薄膜 多晶硅 MEMS 热导率 谐振式压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄斌
供职机构：中国兵器工业集团
研究主题：刻蚀 MEMS器件 弹性梁 硅衬底 检测电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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