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张豹
作品数:
82
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供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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相关领域:
金属学及工艺
文化科学
一般工业技术
自动化与计算机技术
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合作作者
吴仪
北京七星华创电子股份有限公司
王波雷
北京七星华创电子股份有限公司
姬丹丹
北京七星华创电子股份有限公司
李伟
北京七星华创电子股份有限公司
张晓红
北京七星华创电子股份有限公司
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吴仪
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
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王波雷
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 硅片清洗 夹持 旋转轴 卡盘
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姬丹丹
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 卡盘 夹持 晶片 种盘
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所获资助
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李伟
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:出口 二相流 卡盘 硅片 液体流
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张晓红
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:夹持 机械手 气源 卡盘 晶圆
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王浩
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:卡盘 薄片 夹紧 卡爪 气体
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赵宏宇
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶圆 机械手 支撑脚 占地面积 半导体工艺设备
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李广义
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:支撑脚 机械手 螺母 晶圆 占地面积
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裴立坤
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
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韩雷刚
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:分配器 回收 中间层 吹气 串级
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