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张豹

作品数:82 被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域:金属学及工艺文化科学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 15个自动化与计算...
  • 11个金属学及工艺
  • 11个电子电信
  • 8个文化科学
  • 5个医药卫生
  • 5个一般工业技术
  • 4个机械工程
  • 3个化学工程
  • 3个电气工程
  • 3个理学
  • 2个经济管理
  • 2个天文地球
  • 2个石油与天然气...
  • 1个生物学
  • 1个动力工程及工...
  • 1个交通运输工程

主题

  • 21个半导体
  • 19个晶片
  • 19个硅片
  • 15个污染
  • 15个机械手
  • 14个密封
  • 14个卡盘
  • 13个转轴
  • 13个夹持
  • 12个电路
  • 12个旋转轴
  • 12个晶圆
  • 11个气动
  • 10个气动阀
  • 9个声波
  • 8个底面
  • 7个导轨
  • 7个竖直
  • 6个弹簧
  • 6个氧化炉

机构

  • 27个北京七星华创...
  • 1个河北工业大学

资助

  • 3个国家科技重大...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个天津市自然科...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个国家中长期科...
  • 1个河北省教育厅...
  • 1个河北省自然科...

传媒

  • 4个电子工业专用...
  • 3个半导体技术
  • 1个稀有金属材料...
  • 1个化工学报
  • 1个功能材料
  • 1个河北科技大学...
  • 1个微纳电子技术
  • 1个电子设计工程

地区

  • 27个北京市
27 条 记 录,以下是 1-10
吴仪
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王波雷
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 硅片清洗 夹持 旋转轴 卡盘
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姬丹丹
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 卡盘 夹持 晶片 种盘
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李伟
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:出口 二相流 卡盘 硅片 液体流
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张晓红
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:夹持 机械手 气源 卡盘 晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王浩
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:卡盘 薄片 夹紧 卡爪 气体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵宏宇
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶圆 机械手 支撑脚 占地面积 半导体工艺设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李广义
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:支撑脚 机械手 螺母 晶圆 占地面积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴立坤
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩雷刚
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:分配器 回收 中间层 吹气 串级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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