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张晓红

作品数：25 被引量：5H指数：2
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：金属学及工艺动力工程及工程热物理电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 23篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 7篇气源
  • 7篇晶圆
  • 7篇机械手
  • 7篇夹持
  • 6篇晶片
  • 6篇卡盘
  • 4篇电机
  • 4篇卡紧
  • 3篇单晶
  • 3篇电磁铁
  • 3篇圆筒形
  • 3篇制造装置
  • 3篇中间层
  • 3篇回收
  • 3篇多自由度
  • 3篇分配器
  • 3篇风量
  • 3篇保持架
  • 3篇磁性
  • 2篇单晶圆

机构

  • 25篇北京七星华创...

作者

  • 25篇张晓红
  • 17篇张豹
  • 11篇吴仪
  • 8篇赵宏宇
  • 5篇裴立坤
  • 5篇韩雷刚
  • 3篇王波雷
  • 2篇昝威
  • 2篇李伟
  • 2篇韩丽娜
  • 2篇白德海

传媒

  • 2篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 3篇2013
  • 9篇2012
  • 4篇2011
  • 1篇2010
  • 4篇2009
  • 1篇2007
  • 1篇2005
共 25 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
半导体晶圆制造装置
本发明公开了一种半导体晶圆制造装置，涉及半导体晶圆制造技术领域，包括：至少两个机械手(1)、至少一套化学与气源分配系统(2)和多个风循环过滤系统(3)，所述风循环过滤系统(3)分为前部区域、中部区域和侧部区域，所述前部区...
赵宏宇张晓红裴立坤张豹王锐廷
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一种保持盘状物的装置及方法
本发明涉及一种保持盘状物的装置及方法，该装置中的载体上设置有用于轴向固定盘状物的凸出部件，凸出部件使固定后的盘状物下表面与载体上表面四周之间产生空间；载体上表面周边设有与气源连接的吹气口，气体通过吹气口吹向盘状物的下表面...
韩雷刚张豹张晓红王锐廷
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盘状物夹持装置
本发明公开了一种盘状物夹持装置，涉及半导体晶片工艺技术领域，该装置包括：卡盘主体、凸轮、转轴、至少三个夹持部件，所述转轴安装在所述卡盘主体上，且与所述卡盘主体共轴线，用于带动所述卡盘主体旋转，所述凸轮可旋转地安装在所述卡...
张豹李伟张晓红王锐廷吴仪
夹持平面盘状物的装置
本发明公开了一种夹持平面盘状物的装置，涉及半导体技术领域，所述装置包括：圆柱形的旋转主体、两组夹持元件、圆筒形的电磁铁保持架、以及若干电磁铁，所述两组夹持元件通过基座安装于所述旋转主体的侧壁上，所述两组夹持元件通过旋转轴...
吴仪张豹王波雷张晓红王锐廷
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半导体晶圆制造装置
本实用新型公开了一种半导体晶圆制造装置，涉及半导体晶圆制造技术领域，包括：至少两个机械手(1)、至少一套化学与气源分配系统(2)和多个风循环过滤系统(3)，所述风循环过滤系统(3)分为前部区域、中部区域和侧部区域，所述前...
赵宏宇张晓红裴立坤张豹王锐廷
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半导体晶圆传递及工艺前预处理设备
本发明公开了一种半导体晶圆传递及工艺前预处理设备，该设备包括：晶圆仓储盒(103)，设置于设备前面，置于晶圆装载埠(102)上，用于承载半导体晶圆；机械手(203)，设置于设备内部，用于从设置于设备背面的输入输出存储装置...
赵宏宇王锐廷张晓红
用于处理平面盘状物的装置及方法
本发明涉及一种用湿法处理盘状物的装置及方法，包括用于承载盘状物以及使其旋转的载体，在载体的上方设置有分配器，在载体的外围设有环状液体收集器，载体位于环状液体收集器的环口附近，在环状液体收集器中设有内层、外层和至少一个中间...
张豹韩雷刚张晓红王锐廷
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反应腔室盖板及具有该盖板的反应腔室
本发明为一种反应腔室盖板，包括：反应腔室隔板、传片门板、连杆机构以及电机；所述反应腔室隔板设于反应腔室侧面，并开有对应于反应腔室入口的方孔；所述传片门板可在所述反应腔室隔板上运动；所述连杆机构包括至少一根连杆；所述传片门...
昝威吴仪张晓红裴立坤
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夹持平面盘状物的装置
本实用新型公开了一种夹持平面盘状物的装置，涉及半导体技术领域，所述装置包括：圆柱形的旋转主体、两组夹持元件、圆筒形的电磁铁保持架、以及若干电磁铁，所述两组夹持元件通过基座安装于所述旋转主体的侧壁上，所述两组夹持元件通过旋...
吴仪张豹王波雷张晓红王锐廷
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半导体晶圆传递及工艺前预处理设备
本发明公开了一种半导体晶圆传递及工艺前预处理设备，该设备包括：晶圆仓储盒(103)，设置于设备前面，置于晶圆装载埠(102)上，用于承载半导体晶圆；机械手(203)，设置于设备内部，用于从设置于设备背面的输入输出存储装置...
赵宏宇王锐廷张晓红
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