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张苗
作品数:
306
被引量:36
H指数:4
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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国家自然科学基金
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合作作者
狄增峰
中国科学院上海微系统与信息技术...
薛忠营
中国科学院研究生院
陈达
中国科学院上海微系统与信息技术...
王曦
中国科学院研究生院
王刚
中国科学院上海微系统与信息技术...
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狄增峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 锗 离子注入
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薛忠营
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 石墨烯 绝缘体 弛豫 键合
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陈达
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弛豫 衬底 离子注入 绝缘体 单晶薄膜
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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王刚
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 键合 离子注入 单晶薄膜
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母志强
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:绝缘体 键合 离子注入 单晶薄膜 图形化
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郭庆磊
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:绝缘体 锗 键合 图形化 石墨烯
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叶林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:锗 图形化 离子注入技术 单晶薄膜 晶格失配
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张波
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底材料 SUB 绝缘体 锗 金属硅化物
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研究领域
魏星
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 弛豫 超晶格 光刻胶 绝缘体上硅
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