2024年12月27日
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卢海参
作品数:
8
被引量:24
H指数:4
供职机构:
上海大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
上海市科委纳米专项基金
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相关领域:
机械工程
金属学及工艺
理学
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合作作者
雷红
上海大学纳米科学与技术研究中心
张泽芳
上海大学
肖保其
上海大学
张鹏珍
上海大学
褚风灵
上海大学
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雷红
供职机构:上海大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 抛光 磨粒 组合物
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张鹏珍
供职机构:上海大学
研究主题:化学机械抛光 计算机硬盘 抛光液 纳米氧化铈 超精加工
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肖保其
供职机构:上海大学
研究主题:抛光液 化学机械抛光 高精密 CMP 抛光
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张泽芳
供职机构:上海大学
研究主题:化学机械抛光 氧化铝 抛光液 抛光 CMP
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褚于良
供职机构:上海大学材料科学与工程学院
研究主题:显微组织 锆合金 耐腐蚀性能 ZR-4合金 氧化膜
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金建华
供职机构:上海大学
研究主题:化学机械抛光 纳米 抛光液
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褚风灵
供职机构:上海大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光
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相关人物
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严琼林
供职机构:上海大学
研究主题:抛光 氧化铁 化学机械抛光 划痕 CMP
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