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卢海参

作品数：8 被引量：24H指数：4
供职机构：上海大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划上海市科委纳米专项基金更多>>
相关领域：机械工程金属学及工艺理学更多>>

合作作者

领域

  • 6个机械工程
  • 5个一般工业技术
  • 5个理学
  • 4个天文地球
  • 4个化学工程
  • 4个金属学及工艺
  • 4个电子电信
  • 4个自动化与计算...
  • 3个生物学
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  • 3个石油与天然气...
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  • 3个电气工程
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  • 3个水利工程
  • 3个轻工技术与工...
  • 3个交通运输工程
  • 3个航空宇航科学...
  • 3个环境科学与工...

主题

  • 6个氧化铝
  • 6个抛光
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  • 6个纳米
  • 6个化学机械抛光
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  • 6个CMP
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  • 5个抛光技术
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  • 4个单壁
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  • 4个超细氧化铝

机构

  • 6个清华大学
  • 6个上海大学
  • 2个安徽工业大学
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  • 2个安徽新华学院
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  • 2个北京工商大学
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  • 2个北京印刷学院
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  • 2个北京中医药大...
  • 2个滨州医学院

作者

  • 6个路新春
  • 6个雒建斌
  • 6个卢海参
  • 6个雷红
  • 5个施利毅
  • 4个肖保其
  • 4个严琼林
  • 4个张鹏珍
  • 4个张剑平
  • 3个李庆祥
  • 3个陈入领
  • 3个温诗铸
  • 3个韩郑生
  • 3个段瑞玲
  • 3个王家序
  • 3个张晨辉
  • 3个朱永华
  • 3个李欣
  • 3个李瑞
  • 3个杜寰

传媒

  • 6个光学技术
  • 6个润滑与密封
  • 5个机械工程学报
  • 5个无机化学学报
  • 5个摩擦学学报（...
  • 5个微细加工技术
  • 4个光电子．激光
  • 4个光学精密工程
  • 4个半导体技术
  • 4个科学通报
  • 4个仪器仪表学报
  • 4个新技术新工艺
  • 3个分析化学
  • 3个分子科学学报
  • 3个化工科技
  • 3个现代科学仪器
  • 3个现代化工
  • 2个光机电信息
  • 2个工业安全与环...
  • 2个中华精神科杂...
共 6 条 记 录，以下是 1-6
国家自然科学基金(50575131)
相关领域：机械工程 一般工业技术 理学
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国家自然科学基金
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
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国家重点基础研究发展计划
相关领域：天文地球 医药卫生 理学 农业科学 自动化与计算机技术
相关作品相关人物相关机构相关资助相关领域
国家重点基础研究发展计划(2003CB716201)
高性能电子产品设计制造精微化、数字化新原理和新方法
相关领域：机械工程 理学 自动化与计算机技术 一般工业技术 电子电信
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上海市科委纳米专项基金
相关领域：理学 一般工业技术 医药卫生 化学工程 电子电信
相关作品相关人物相关机构相关资助相关领域
上海市科委纳米专项基金(0452nm013)
相关领域：机械工程
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