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陈立群
作品数:
8
被引量:7
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
深圳市科技计划项目
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相关领域:
理学
机械工程
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合作作者
曾爱军
中国科学院上海光学精密机械研究...
黄惠杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
王莹
中国科学院上海光学精密机械研究...
张运波
中国科学院上海光学精密机械研究...
齐红基
中国科学院上海光学精密机械研究...
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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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王莹
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:锥角 聚焦透镜 图像传感器 投影光刻机 分光镜
发表作品
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供职机构
所获资助
研究领域
张运波
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:投影光刻机 锥角 分光镜 反射镜 光源
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齐红基
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:KDP 晶体 晶体生长 籽晶 氧化镓
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沈百飞
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光 等离子体 激光驱动 伽马射线 X射线激光
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方瑞芳
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光束 光刻 狭缝 移相 达曼光栅
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陈明星
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光学元器件 接收器 驱动模块 转角 旋转轴
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高飞
供职机构:中国科学院深圳先进技术研究院
研究主题:假肢 磁流变液 3D打印 骨修复 脚底
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龚小竞
供职机构:中国科学院深圳先进技术研究院
研究主题:光声 光声成像 超声换能器 成像系统 成像
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