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王莹

作品数：21 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 20篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 12篇透镜
  • 10篇光刻
  • 8篇投影光刻
  • 8篇光刻机
  • 7篇锥角
  • 6篇照明
  • 6篇投影光刻机
  • 6篇图像
  • 6篇图像传感器
  • 6篇聚焦透镜
  • 6篇分光
  • 6篇感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 4篇照明模式
  • 4篇照明装置
  • 4篇透镜阵列
  • 4篇微透镜
  • 4篇微透镜阵列
  • 4篇相位延迟

机构

  • 21篇中国科学院上...

作者

  • 21篇黄惠杰
  • 21篇王莹
  • 20篇曾爱军
  • 14篇张运波
  • 4篇陈明星
  • 3篇陈立群
  • 3篇杨宝喜
  • 3篇袁乔
  • 2篇陈明
  • 2篇谢承科
  • 2篇朱玲琳
  • 1篇张方
  • 1篇朱菁

年份

  • 1篇2017
  • 4篇2016
  • 7篇2015
  • 3篇2014
  • 6篇2013
共 21 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
改变光束偏振方向二维分布的装置
一种改变光束偏振方向二维分布的装置，其特点在于其构成包括沿入射光束方向依次是起偏器、四分之一波片和反射式空间光调制器，该反射式空间光调制器的控制端与控制器的输出端相连，入射光束通过所述的起偏器起偏后形成线偏振光，该线偏振...
张运波曾爱军陈立群王莹黄惠杰
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激光脉冲拉伸装置
一种激光脉冲拉伸装置，特征在于其构成包括偏振分光器、第一反射直角棱镜和第二反射直角棱镜，所述的第一反射直角棱镜位于所述的偏振分光器的透射方向或反射方向，所述的第二反射直角棱镜位于所述的偏振分光器的反射方向或透射方向，第一...
王莹曾爱军朱玲琳黄惠杰
文献传递
投影光刻机照明装置和使用方法
一种投影光刻机的照明装置及使用方法，包括激光源，沿激光源输出光束方向依次是：扩束器、微镜阵列、快速反射镜、光阑阵列、微透镜阵列、照明镜组和反射镜，所述的微镜阵列的控制系统包括第一计算机和微镜阵列控制器，所述的快速反射镜的...
曾爱军张运波陈明星王莹黄惠杰
文献传递
深紫外投影光刻机的照明装置及使用方法
一种深紫外投影光刻机的照明装置及使用方法：装置包括激光源，沿激光源输出光束方向依次是：扩束器、微反射镜阵列、光阑阵列、微透镜阵列、照明镜组和反射镜，所述的微反射镜阵列的控制系统包括计算机和微反射镜阵列控制器，计算机通过微...
张运波曾爱军王莹黄惠杰
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产生投影光刻照明模式的装置
一种用于高数值孔径投影光刻系统的产生投影光刻照明模式的装置，其构成包括激光源，沿该激光源激光输出方向依次是扩束器、起偏器、第一四分之一波片、相位延迟器阵列、第二四分之一波片、微镜阵列、傅里叶透镜，所述的相位延迟器阵列的相...
张运波曾爱军陈明星陈立群王莹黄惠杰
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用于光刻机的能量探测装置
一种用于光刻机的能量探测装置，特点在于其构成沿光线前进方向依次是反射镜、积分棒、探测器、探测器信号处理电路、信号采集卡和计算机，所述的积分棒位于所述的反射镜的焦平面，所述的探测器的输出端接所述的探测器信号处理电路的电流信...
谢承科王莹陈明曾爱军杨宝喜黄惠杰
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轴锥镜锥角检测装置及其检测方法
一种轴锥镜锥角检测装置及其检测方法，该装置由平行光管、聚焦透镜和图像传感器组成，其位置关系是：沿所述的平行光管出射光束方向依次是所述的聚焦透镜和图像传感器，在所述的平行光管和聚焦透镜之间设置待测轴锥镜的插口。该装置具有结...
王莹曾爱军袁乔黄惠杰
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光刻环形照明模式产生装置
一种用于投影光刻机的光刻环形照明模式产生装置，包括激光源，沿该激光源输出光束方向依次是第一透镜、第二透镜、锥形光束产生器件、平凸锥透镜，所述的平凸锥透镜固定在直线位移台上，该直线位移台带动所述的平凸锥透镜沿激光源输出光束...
张运波曾爱军王莹黄惠杰
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锥形镜锥角测量装置及测量方法
一种锥形镜锥角测量装置及测量方法，锥形镜锥角测量装置由光源、聚焦透镜、滤光小孔、分光镜、准直透镜、反射镜、图像传感器、第一调整机构和带有高精密角位移台的第二调整机构组成，本发明具有结构简单、操作方便、不需要标准镜即可实现...
王莹曾爱军张运波顾帅妍黄惠杰
激光脉冲拉伸装置
一种激光脉冲拉伸装置，特征在于其构成包括偏振分光器、第一反射直角棱镜和第二反射直角棱镜，所述的第一反射直角棱镜位于所述的偏振分光器的透射方向或反射方向，所述的第二反射直角棱镜位于所述的偏振分光器的反射方向或透射方向，第一...
王莹曾爱军朱玲琳黄惠杰
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