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张运波

作品数：20 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：上海市科技人才计划项目国际科技合作与交流专项项目国家科技重大专项更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 18篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇理学

主题

  • 13篇光刻
  • 10篇透镜
  • 8篇投影光刻
  • 7篇照明
  • 7篇光刻机
  • 6篇投影光刻机
  • 5篇锥角
  • 5篇紫外光刻
  • 4篇照明模式
  • 4篇照明装置
  • 4篇透镜阵列
  • 4篇图像
  • 4篇图像传感器
  • 4篇微透镜
  • 4篇微透镜阵列
  • 4篇利用率
  • 4篇聚焦透镜
  • 4篇激光
  • 4篇极紫外
  • 4篇极紫外光刻

机构

  • 20篇中国科学院上...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 20篇张运波
  • 20篇曾爱军
  • 20篇黄惠杰
  • 14篇王莹
  • 6篇陈明星
  • 3篇陈立群
  • 2篇朱玲琳
  • 1篇朱菁
  • 1篇程伟林
  • 1篇袁乔

传媒

  • 1篇激光与光电子...

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 9篇2015
  • 2篇2014
  • 7篇2013
共 20 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
扫描干涉场曝光中关键技术的现状与发展趋势被引量：2
2015年
扫描干涉场曝光(SBIL)在制作大尺寸、纳米精度的衍射光栅中有着独特的优势。为了充分了解SBIL系统的技术特点,介绍了国内外SBIL技术的发展现状,并针对SBIL系统中的各个关键技术进行技术性的调研与总结,着重分析了各关键技术已有解决方法的基本原理、优点以及存在的局限性,结合具体的光栅应用要求,给出了各关键技术的相应具体指标,展望了其发展趋势。
程伟林朱菁张运波曾爱军黄惠杰
关键词：光栅衍射光栅大尺寸
改变光束偏振方向二维分布的装置
一种改变光束偏振方向二维分布的装置，其特点在于其构成包括沿入射光束方向依次是起偏器、四分之一波片和反射式空间光调制器，该反射式空间光调制器的控制端与控制器的输出端相连，入射光束通过所述的起偏器起偏后形成线偏振光，该线偏振...
张运波曾爱军陈立群王莹黄惠杰
文献传递
深紫外光刻机照明系统光瞳面光强分布的控制装置
一种深紫外光刻机照明系统光瞳面光强分布的控制装置，包括：激光源、扩束器、自由曲面反射镜、微反射镜阵列、傅里叶透镜组、光瞳面。本发明采用自由曲面反射镜代替转折反射镜和微透镜阵列实现光束的分割与聚焦，减小光能的损失，提高深紫...
张运波曾爱军黄惠杰
文献传递
产生投影光刻照明模式的装置
一种用于高数值孔径投影光刻系统的产生投影光刻照明模式的装置，其构成包括激光源，沿该激光源激光输出方向依次是扩束器、起偏器、第一四分之一波片、相位延迟器阵列、第二四分之一波片、微镜阵列、傅里叶透镜，所述的相位延迟器阵列的相...
张运波曾爱军陈明星陈立群王莹黄惠杰
文献传递
用于激光等离子体极紫外光刻光源的光谱纯化滤波装置
一种用于激光等离子体极紫外光刻光源的光谱纯化滤波装置，特点在于其构成依次包括表面镀膜的第一光栅、对于13.5nm光谱具有高透过率的薄金属片和表面镀膜的第二光栅，所述的第一光栅、第二光栅与薄金属片表面互相平行，第一光栅和第...
张运波曾爱军黄惠杰
文献传递
产生投影光刻照明模式的装置
一种用于高数值孔径投影光刻系统的产生投影光刻照明模式的装置，其构成包括激光源，沿该激光源激光输出方向依次是扩束器、起偏器、第一四分之一波片、相位延迟器阵列、第二四分之一波片、微镜阵列、傅里叶透镜，所述的相位延迟器阵列的相...
张运波曾爱军陈明星陈立群王莹黄惠杰
文献传递
投影光刻机照明装置和使用方法
一种投影光刻机的照明装置及使用方法，包括激光源，沿激光源输出光束方向依次是：扩束器、微镜阵列、快速反射镜、光阑阵列、微透镜阵列、照明镜组和反射镜，所述的微镜阵列的控制系统包括第一计算机和微镜阵列控制器，所述的快速反射镜的...
曾爱军张运波陈明星王莹黄惠杰
文献传递
深紫外投影光刻机的照明装置及使用方法
一种深紫外投影光刻机的照明装置及使用方法：装置包括激光源，沿激光源输出光束方向依次是：扩束器、微反射镜阵列、光阑阵列、微透镜阵列、照明镜组和反射镜，所述的微反射镜阵列的控制系统包括计算机和微反射镜阵列控制器，计算机通过微...
张运波曾爱军王莹黄惠杰
文献传递
光刻环形照明模式产生装置
一种用于投影光刻机的光刻环形照明模式产生装置，包括激光源，沿该激光源输出光束方向依次是第一透镜、第二透镜、锥形光束产生器件、平凸锥透镜，所述的平凸锥透镜固定在直线位移台上，该直线位移台带动所述的平凸锥透镜沿激光源输出光束...
张运波曾爱军王莹黄惠杰
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极紫外光刻光源收集镜污染测量装置
一种极紫外光刻光源收集镜污染测量装置，该装置包括准直激光光源、线起偏器、消偏振分光器、样品器、四分之一波片、同步移相器、信号处理系统和极紫外光源收集器。本发明装置可以实时、有效地测量收集镜上的污染物。
朱玲琳张运波陈明星曾爱军黄惠杰
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