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黄仁东

作品数:40 被引量:0H指数:0
供职机构:上海集成电路研发中心更多>>
相关领域:电子电信文化科学自动化与计算机技术更多>>

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曾绍海
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:淀积 刻蚀 衬底 侧墙 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铭
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
左青云
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:衬底 淀积 空气隙 介质层 存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钟旻
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:存储器单元 相变 底电极 沟道 相变材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡正军
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:淀积 清洗方法 硅 干法刻蚀 二氧化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王全
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:硅衬底 硅纳米线 刻蚀 自顶向下 图形化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林宏
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:空气隙 填充金属 铜互连 硅片 金属互连线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王毅博
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:物料输送系统 自动化 晶圆 存储设备 传动皮带
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴文俊
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:研磨 晶圆 研磨液 修整 化学机械研磨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚嫦娲
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:刻蚀 刻蚀工艺 互连 空气隙 通孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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