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丁纯

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
相关领域:自动化与计算机技术机械工程更多>>

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4 条 记 录,以下是 1-4
王文辉
供职机构:浙江大学
研究主题:硅 各向异性腐蚀 波导 制作方法 玻璃衬底
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李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王东平
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:保护方法 反应离子刻蚀 深反应离子刻蚀 成品率 叉指电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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