王东平
- 作品数：5 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 一种自动掉电保护的弯曲梁微机械光开关
- 本实用新型涉及一种自动掉电保护的弯曲梁微机械光开关,属于微机械领域,其特征是它由弯曲梁锚点、弯曲梁、镜子、平面电极或叉指电极以及用来固定光纤的V形槽构成。镜子悬挂于弯曲梁,随弯曲梁运动,梁处于稳定态时,镜子也处于稳定态,...
- 王浙辉王东平王跃林
- 文献传递
- 深反应离子刻蚀技术中可动结构的牺牲层保护方法
- 本发明公开一种深反应离子刻蚀技术中可动结构的牺牲层保护方法，针对深反应离子刻蚀技术在制作具有可动结构的器件中出现的可动结构释放后即受到较大破坏的问题，采用牺牲层固定可动结构，使器件可动结构在进行深反应离子刻蚀工艺时始终保...
- 王东平王文辉李铁杨艺榕王跃林
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- 梳状叉指电极驱动折叠悬臂梁的运动研究
- 对梳状叉指电极驱动的折叠悬臂梁结构的运动进行了研究.研究表明,在直流电压驱动下,悬臂梁的运动有一阈值;在阈值前,悬臂梁运动位移与驱动电压近似满足S∝U<'2>的关系.本文对此进行了理论分析,同时还对测量值与ANSYS模拟...
- 王东平李铁王文辉丁纯王跃林
- 关键词：驱动电压静电驱动
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- 深反应离子刻蚀中可动部件的附加结构保护方法
- 一种深反应离子刻蚀中可动部件的附加结构保护方法,其特点是:在设计版图时进行附加结构的特别设计,使同一硅片上刻蚀速度差别得以减少,同时保证可动结构在刻蚀过程中不被释放;当全部工艺完成后,利用无损办法将附加结构与可动结构分离...
- 李铁熊斌王东平王跃林
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- 深反应离子刻蚀技术中可动结构的牺牲层保护方法
- 本发明公开一种深反应离子刻蚀技术中可动结构的牺牲层保护方法,针对深反应离子刻蚀技术在制作具有可动结构的器件中出现的可动结构释放后即受到较大破坏的问题,采用牺牲层固定可动结构,使器件可动结构在进行深反应离子刻蚀工艺时始终保...
- 王东平王文辉李铁杨艺榕王跃林
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