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李薇薇
作品数:
54
被引量:97
H指数:6
供职机构:
河北工业大学信息工程学院
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发文基金:
河北省自然科学基金
天津市重大科技攻关项目
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
文化科学
一般工业技术
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
檀柏梅
河北工业大学信息工程学院微电子...
周建伟
河北工业大学信息工程学院微电子...
王娟
河北工业大学信息工程学院微电子...
张楷亮
河北工业大学信息工程学院微电子...
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供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
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3
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河北工业大学信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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研究领域
河北工业大学
研究主题:数值模拟 性能研究 机器人 大学生 高校
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相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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相关机构
所获资助
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