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唐利锋

作品数：21 被引量：4H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
相关领域：轻工技术与工程自动化与计算机技术化学工程更多>>

合作作者

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中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：碳化硅 芯片 金属 外延层 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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