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张森

作品数：34 被引量：28H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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