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李丽

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第十三研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化铝
  • 1篇体声波
  • 1篇谐振器
  • 1篇ALN

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇要志宏
  • 1篇郑升灵
  • 1篇李丽
  • 1篇李宏军
  • 1篇李丰

传媒

  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于AlN轮廓模式矩形盘谐振器的研究
2014年
介绍了一种微型化体声波谐振器的理论模型和实作结果,采用微电子和微机械加工技术,实现了一种上、下电极覆盖压电AlN的"三明治"空气腔悬梁结构。该谐振器具有微型化,高品质因数,低成本的特点,实作的谐振器频率约20MHz,品质因数为800,机电耦合系数约0.5%。
郑升灵李丽要志宏李宏军李丰
关键词：体声波
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共1页<1>
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