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文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇化学工程

主题

  • 2篇体声波
  • 2篇谐振器
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化铝
  • 1篇压电
  • 1篇体声波谐振器
  • 1篇微型机电系统
  • 1篇陷波器
  • 1篇相位匹配
  • 1篇芯片
  • 1篇滤波器
  • 1篇空气隙
  • 1篇ALN
  • 1篇高性能

机构

  • 4篇中国电子科技...

作者

  • 4篇李宏军
  • 3篇钱丽勋
  • 3篇郑升灵
  • 2篇李丰
  • 1篇要志宏
  • 1篇李丽
  • 1篇李丽

传媒

  • 3篇信息记录材料
  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2019
  • 2篇2018
  • 1篇2014
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
基于AlN轮廓模式矩形盘谐振器的研究
2014年
介绍了一种微型化体声波谐振器的理论模型和实作结果,采用微电子和微机械加工技术,实现了一种上、下电极覆盖压电AlN的"三明治"空气腔悬梁结构。该谐振器具有微型化,高品质因数,低成本的特点,实作的谐振器频率约20MHz,品质因数为800,机电耦合系数约0.5%。
郑升灵李丽要志宏李宏军李丰
关键词:体声波
一种基于FBAR技术的5.5GHz滤波器芯片的研制
2019年
报道了一种工作于5.5GHz的薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器芯片。首先制作了一种串联谐振频率为5.5GHz的谐振器,采用该谐振器模型设计并实现了5.5GHz FBAR滤波器芯片。微波探针测试结果显示,中心插损为1.68d B,1d B带宽105MHz,5.3GHz处抑制为39.66d Bc,5.7GHz处抑制为48.42d Bc。实现了5.5GHz窄带滤波器的芯片化。
李丰李丽钱丽勋李宏军
关键词:空气隙芯片
PCMR体声波谐振器多物理场仿真及芯片制作
2018年
文章介绍了一种轮廓模式压电谐振器的工作原理,阐述了多物理场的概念并利用多物理场有限元分析方法分析了该谐振器的谐振过程,并利用多物理场原理对压电谐振器结构进行了仿真优化。多物理场仿真可以更加直观,深入的理解PCMR的工作原理和过程。不利用等效电路模型,所以可以准确的找到谐振器各组成部分对谐振器的影响。基于仿真的结果,分别设计了平板型(82.75MHz)和交指型(346.5MHz)轮廓模式谐振器并利用MEMS工艺对其进行了制作。制作的轮廓模式谐振器具有较高的Q值(800),机电耦合系数2%,测试结果和仿真结果基本的吻合。
钱丽勋郑升灵李宏军
关键词:微型机电系统
基于相位匹配的高性能吸收型陷波器
2018年
介绍了一种高性能吸收型陷波器。此陷波器利用相位匹配方式实现吸收陷波,电路形式可以采用LC集总参数实现,也可以采用微带分布结构实现。LC结构陷波器使用传输线替代高低通LC电路实现相移,减少了元器件数量从而提高了调试效率,利用低Q值元器件实现了52d B的高陷波深度。微带分布结构陷波器Q值相对较高,具有3d B开口带宽仅3%,陷波深度最高可达60d B,通带衰减小等优点。陷波器采用"Q值补偿"的方式克服了传统陷波器的缺点,为利用低Q值元器件实现高陷波深度提供了新的思路。
钱丽勋郑升灵李宏军
关键词:陷波器相位匹配
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