您的位置： 专家智库 > >

徐文忠

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：河北工业大学更多>>
发文基金：河北省教育厅科学技术研究计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇抛光
  • 3篇化学机械抛光
  • 3篇机械抛光
  • 3篇合金
  • 2篇离子
  • 2篇铝合金
  • 2篇铝合金材料
  • 2篇镁铝合金
  • 2篇活性剂
  • 2篇合金材料
  • 2篇非离子
  • 2篇非离子表面活...
  • 2篇表面活性
  • 2篇表面活性剂
  • 2篇超纯水
  • 1篇抛光液
  • 1篇AL-MG合...

机构

  • 3篇河北工业大学

作者

  • 3篇刘玉岭
  • 3篇徐文忠
  • 2篇檀柏梅
  • 2篇王如
  • 1篇牛新环
  • 1篇穆会来

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 2篇2011
  • 1篇2010
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
镁铝合金化学机械抛光后表面清洗方法
本发明公开了一种镁铝合金化学机械抛光后表面清洗方法，旨在提供一种能够降低镁铝合金材料碱性化学机械抛光的后续加工成本，使用方法简单易行，能够提高晶片表面质量的清洗方法。取电阻为18MΩ以上的超纯水边搅拌边加入非离子表面活性...
刘玉岭王如檀柏梅徐文忠
镁铝合金化学机械抛光后表面清洗方法
本发明公开了一种镁铝合金化学机械抛光后表面清洗方法，旨在提供一种能够降低镁铝合金材料碱性化学机械抛光的后续加工成本，使用方法简单易行，能够提高晶片表面质量的清洗方法。取电阻为18MΩ以上的超纯水边搅拌边加入非离子表面活性...
刘玉岭王如檀柏梅徐文忠
文献传递
Al-Mg合金化学机械抛光的实验研究被引量：2
2010年
将CMP技术用于Al-Mg合金表面加工中,根据抛光布特性及Al-Mg合金性质来选择抛光布。并从研究Al-Mg合金在碱性条件下化学机械抛光机理出发确定相应的抛光液,最后对Al-Mg合金化学机械抛光中pH值、压力、流量等主要参数进行优化实验。确定当压力为0.05 MPa,pH值为11.20,流量为250 ml/min时,Al-Mg合金表面状态良好。用美国ZYGO公司产的NewView6000非接触光学表面轮廓仪来测量表面粗糙度已达到纳米级别。
徐文忠刘玉岭牛新环穆会来
关键词：化学机械抛光抛光液
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0