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张文奇
作品数:
4
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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相关领域:
化学工程
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合作作者
曹立强
中国科学院微电子研究所
宋崇申
中国科学院微电子研究所
薛海韵
中国科学院微电子研究所
戴风伟
中国科学院微电子研究所
王启东
中国科学院微电子研究所
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中国科学院微...
作者
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曹立强
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张文奇
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宋崇申
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薛海韵
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杨立杰
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王启东
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戴风伟
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2018
2篇
2016
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以硅通孔为核心的三维系统集成技术及应用
曹立强
于大全
张文奇
李君
孙鹏
戴风伟
肖智轶
王启东
耿菲
黄小花
周鸣昊
于中尧
尹雯
刘丰满
徐健
集成电路是信息时代的命脉产业,严重影响国家战略和产业安全,封装是集成电路制造产业链中的重要一环。先进封装在产品超薄化、低成本和多功能应用中逐步显示出巨大潜力,也面临着战略性瓶颈问题。随着全球产品技术升级,国内与国际一流企...
关键词:
关键词:
集成电路
封装工艺
一种涂胶装置
本发明公开了一种涂胶装置,该装置包括载台、吸附于载台之上的晶圆,以及晶圆上方的胶体注入管路,胶体注入管路具有一喷头,该喷头正对晶圆表面,该装置还包括:一圆形托盘,设置于晶圆上方,在涂胶时该圆形托盘与晶圆一起夹住旋涂于晶圆...
薛海韵
曹立强
宋崇申
张文奇
文献传递
柔性线路板和刚性线路板的电性连接体
本发明提供了一种柔性线路板和刚性线路板的电性连接体。该电性连接体包括:柔性线路板和刚性线路板。其中,柔性线路板沿高度方向包括:柔性基板以及第一金属图样。刚性线路板在高度方向包括:刚性基板;以及第三金属图样。柔性线路板和刚...
谭同
李宝霞
杨立杰
曹立强
宋崇申
张文奇
文献传递
一种涂胶装置
本发明公开了一种涂胶装置,该装置包括载台、吸附于载台之上的晶圆,以及晶圆上方的胶体注入管路,胶体注入管路具有一喷头,该喷头正对晶圆表面,该装置还包括:一圆形托盘,设置于晶圆上方,在涂胶时该圆形托盘与晶圆一起夹住旋涂于晶圆...
薛海韵
曹立强
宋崇申
张文奇
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