杨映虎 作品数:25 被引量:132 H指数:7 供职机构: 兰州大学物理科学与技术学院 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 甘肃省自然科学基金 中国科学院西部之光基金 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 化学工程 一般工业技术 更多>>
用射频溅射技术在硅衬底上制备In掺杂ZnO薄膜 被引量:5 2004年 以金属锌(Zn)和金属铟(In)为靶材采用射频反应共溅射技术在硅(100)衬底上沉积了In掺杂ZnO薄膜。用X射线衍射仪、扫描电子显微镜(SEM)、热探针、四探针和荧光分光光度计分别对样品的结构、表面形貌、导电类型、电阻率和发光特性进行了分析表征。测试结果表明,实验中制备出的ZnO薄膜具有高度的c轴择优取向和小压应力(0.74GPa),薄膜表面平整。样品为n型导电,电阻率为1.6Ω·cm。在室温光致发光谱测量中,首次观察到位于415~433nm的强的蓝紫光双峰发射,发光双峰的半峰全宽约为400meV。讨论了In掺杂对薄膜发光特性的影响。 朋兴平 谭永胜 方泽波 杨映虎 王印月关键词:氧化锌薄膜 光致发光谱 Au/Ti/p型金刚石膜欧姆接触特性研究 2000年 在重掺杂硼金刚石膜上溅射沉积了Ti/Au接触 ,用CTLM测量了样品退火前后的I-V特性 ,并对大电流情况进行了讨论。就测试温度和光照强度对接触特性的影响进行了分析。定性给出了该接触的能带模型。样品接触电阻率 ρc 最低值达 1.2 3 6× 10 - 6 Ω·cm2 。 王印月 甄聪棉 刘雪芹 闫志军 龚恒翔 杨映虎 何山虎关键词:欧姆接触 金刚石薄膜 接触电阻率 溅射沉积 蓝光ZnO薄膜的特性研究 被引量:6 2005年 采用反应溅射法在n型硅(100)衬底上制备了ZnO薄膜,分别用X射线衍射仪、原子力显微镜和荧光分光光度计对样品的结构、表面形貌和光致发光特性进行了表征。X射线衍射结果表明,实验中制备出了应变小的c轴择优取向的ZnO薄膜;原子力显微镜观察表明,薄膜表面平整,颗粒大小约为50 nm,为柱状结构,颗粒垂直于硅衬底表面生长;在室温光致发光(PL)谱中观察到了波长位于434 nm处的较窄的强蓝光发射峰,该蓝光峰的半峰全宽约为50 m eV。对蓝光峰的发光机制进行了讨论,并推断出该蓝光峰来源于电子从Zn填隙缺陷能级向价带顶跃迁。 朋兴平 杨扬 耿伟刚 杨映虎 王印月关键词:ZNO薄膜 硅衬底 光致发光 沉积条件对RF反应溅射多晶ZnO薄膜结构的影响 被引量:4 2000年 采用RF反应溅射法在Si(1 1 1 )、玻璃衬底上制备了具有良好C轴取向的多晶ZnO薄膜。用XRD分析了沉积条件 (衬底温度、工作气体中的氧与氩气压比和衬底种类 )对样品结构的影响。发现 (1 )薄膜的取向性随着衬底温度的升高而增强 ,超过40 0℃后薄膜质量开始变差 ;(2 )工作气体中氧与氩气压比 (PO2 PAr)为 2 :3时 ,薄膜取向性最好 ;(3)薄膜晶粒尺寸 1 1~ 34nm ,相同沉积条件下 ,单晶硅衬底样品 (0 0 2 )衍射峰强度减弱 ,半高宽无明显变化。 龚恒翔 阎志军 杨映虎 王印月关键词:ZNO薄膜 In掺杂ZnO薄膜的制备及结构特性研究 被引量:1 2005年 通过射频反应共溅射法在硅衬底上制备了不同In掺杂量的ZnO薄膜,表征了薄膜的结构和表面形貌,研究了In掺杂量对znO薄膜的结构特性的影响.掠角X射线衍射分析结果表明制备的样品为ZnO薄膜,θ-2θ X射线衍射分析结果表明样品具有小的应力和C轴择优取向;原子力显微镜测试结果表明样品的颗粒大小和应力同其(002)衍射峰强度有关.薄膜具有较低的电阻率(10-1-100Ω·cm).当In掺杂量为3%时,样品的(002)衍射峰强度最高、压应力较小(7.3x108N/m2). 朋兴平 杨映虎 季涛 方泽波 王印月关键词:ZNO薄膜 射频反应溅射制备的ZnO薄膜的结构和发光特性 被引量:12 2007年 用射频反应溅射在硅(100)衬底上生长了c轴择优取向的ZnO薄膜,用X射线衍射仪、荧光分光光度计和X射线光电子能谱仪对样品进行了表征,分析研究了溅射功率、衬底温度对样品的结构和发光特性的影响.结果表明,溅射功率100W,衬底温度300~400℃时,适合c轴择优取向和应力小的ZnO薄膜的生长.在样品的室温光致发光谱中观察到了380nm的紫外激子峰和峰位在430nm附近的蓝光带,并对蓝光带的起源进行了初步探讨. 朋兴平 王志光 宋银 季涛 臧航 杨映虎 金运范关键词:ZNO薄膜 X射线衍射谱 光致发光谱 衬底温度 非晶硅太阳电池稳定性研究 1996年 报导对非晶硅太阳电池长期跟踪测量的结果,并对提高太阳电池稳定性进行了讨论. 王印月 杨映虎 姜永波 张仿清 陈光华 王思礼关键词:非晶硅 稳定性 太阳能电池 用拉曼散射光谱估算纳米Ge晶粒平均尺寸 被引量:9 1998年 用射频共溅射技术和真空退火方法制备了埋入SiO2基底中的纳米Ge复合膜(nc-Ge/SiO2)。测量了不同温度退火后该复合膜的拉曼散射光谱,其结果与晶体Ge的拉曼谱相比,纳米Ge的拉曼峰位红移峰形变宽;用拉曼谱的参数计算了纳米Ge晶粒的平均尺寸。 王印月 郑树凯 杨映虎 郭永平 奇莉 甘润今关键词:拉曼散射光谱 晶粒尺寸 埋入SiO_2薄膜中纳米Si的Raman散射和室温可见光致发光 被引量:11 1997年 1990年英国人Canham报道的多孔硅室温可见光致发光,显示了Si材料在光电子技术方面的潜力,这为全Si光电子电路的实现带来了曙光,使人们受到了极大鼓舞.近几年人们对多孔Si的研究已经非常深入,尽管目前还没有统一的模型能解释全部实验结果,但是可以肯定的是,从扫描隧道电镜观察到多孔Si是具有2~5nm尺寸的纳米微粒,这种低维的纳米微粒是获得可见光发射的主要原因.目前多孔Si多用湿法制备,性能不稳定,电接触方面存在困难,严重限制了它的应用.因此,探索制备有纳米结构的Si及Si基合金以获得强的可见光发射,具有极重要的意义. 王印月 杨映虎 郭永平 王吉政 陈光华 甘润今关键词:二氧化硅 光致发光 喇曼散射 埋入SiO_2薄膜中的Ge,Si和C团的电学性质 被引量:1 1998年 研究了埋入SiO2薄膜中的Ge,Si,C微晶的电学性质与温度的关系。结合对光致发光(PL)的测量、电导激活能、电导与发光强度和峰位关系的测量发现,当测量温度高于60℃时,埋入SiO2膜中的Ge,Si,C微结构具有半导体导电规律,尽管C/SiO2复合膜在室温至60℃之间表现出金属导电性质。对电导和PL机制进行了讨论。 王印月 杨映虎 孙燕杰 龚恒祥 郭永平 刘凤敏 甘润今关键词:微晶 退火 电导 光致发光