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许颐璐
作品数:
4
被引量:3
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海技术物理研究所
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发文基金:
国家杰出青年科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
巫艳
中国科学院上海技术物理研究所
姬荣斌
中国科学院上海技术物理研究所
王善忠
中国科学院上海技术物理研究所
何力
中国科学院上海技术物理研究所
郭世平
中国科学院上海技术物理研究所
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机构
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中国科学院
作者
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何力
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王善忠
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姬荣斌
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许颐璐
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巫艳
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郭世平
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俞锦陛
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杨建荣
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乔怡敏
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电子显微学报
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光电子技术
年份
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1998
2篇
1997
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Ⅱ-Ⅵ族宽禁带蓝绿色发光器材料的MBE研究
本文报道 ZnSe 基Ⅱ-Ⅵ族宽带发光材料分子束外延系统的建立、p 型掺杂用等离子体活性氮源的研制、两性掺杂的 ZnSe 材料的生长。实验证明国产 MBE 设备能够自洽生长优质 ZnSe 单晶薄膜;用自制的等离子体活性氮...
王善忠
姬荣斌
巫艳
许颐璐
郭世平
何力
关键词:
分子束外延
文献传递
等离子体活性氮源的研制
被引量:2
1998年
ZnSe基材料是研制蓝绿色发光器件的首选材料之一。本文报道一种自己研制的、以石英管为主体结构材料的、可适用于ZnSe基材料分子束外延掺杂的简易等离子体活性氛源。该氛源采用射频激励方式激活氮分子。在适当生长条件下,利用装备有该氮源的国产FW-Ⅲ型分子束外延设备,成功地生长出了p型ZnSe优质单晶薄膜。SIMS测量表明,薄膜中氮浓度高达~2.3×1020cm-3;C-V测量表明,净空穴浓度[Na]-[Nd]为~5×1017cm-3,已经达到制备原理性蓝绿色激光二极管的要求(~4.0×1017cm-3)。
王善忠
许颐璐
姬荣斌
巫艳
俞锦陛
乔怡敏
于梅芳
杨建荣
何力
关键词:
射频激励
等离子体
发光器件
Ⅱ-Ⅵ族宽禁带蓝绿色发光器材料的MBE研究
被引量:2
1997年
本文报道ZnSe基ⅡⅥ族宽带发光材料分子束外延系统的建立、p型掺杂用等离子体活性氮源的研制、两性掺杂的ZnSe材料的生长。实验证明国产MBE设备能够自洽生长优质ZnSe单晶薄膜;用自制的等离子体活性氮源作受主掺杂剂,获得了pZnSe单晶薄膜,经CV测量发现,[Na][Nd]高达~5×1017·cm-3;用国产粉末状ZnCl2源作施主掺杂剂,获得了nZnSe单晶薄膜,Hal测量表明[n]高达~23×1019·cm-3。生长速度均控制在~05μm/h。
王善忠
姬荣斌
巫艳
许颐璐
郭世平
何力
关键词:
分子束外延
硫化锌
MBE
真空系统用石英活性气体发生装置
本实用新型提供一种新型的适用于超高真空用的用石英材料制作的气态活性原子、分子发生装置。它是将经过减压后工作气体通过真空漏阀输入到石英反应腔。在反应腔,气体与射频电场耦合产生的活性原子的分子的复合体通过泻流孔泄放至超高真空...
王善忠
许颐璐
杨建荣
俞锦陛
姬荣斌
巫艳
郭世平
何力
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