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郭世平
作品数:
17
被引量:24
H指数:3
供职机构:
中国科学院上海技术物理研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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一般工业技术
金属学及工艺
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合作作者
何力
中国科学院上海技术物理研究所
杨建荣
中国科学院上海技术物理研究所
于梅芳
中国科学院上海技术物理研究所
乔怡敏
中国科学院上海技术物理研究所
陈新强
中国科学院上海技术物理研究所
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郭世平
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何力
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1996
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1994
1篇
1993
共
17
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ZnSe单晶薄膜生长控制和掺杂控制
被引量:4
2000年
为研制ZnSe基蓝绿色半导体激光器,必须能够对组成激光器的各单元材料实现精确控制生长,包括材料的晶体质量、掺杂浓度和生长速度等.ZnSe是制备蓝绿激光器的基础材料,本文报道利用 MBE技术对 ZnSe材料进行生长控制和掺杂控制的初步研究结果.
王善忠
谢绳武
庞乾骏
郑杭
夏宇兴
姬荣斌
巫艳
杨建荣
乔怡敏
于梅芳
杜美容
郭世平
何力
关键词:
ZNSE
单晶薄膜
空穴导电碲镉汞外延材料热处理工艺及装置
本发明提供了一种长波碲镉汞外延材料P型热处理工艺及装置。该工艺由样品表面处理、热处理装置处理、装片、系统抽真空、热处理条件选择和淬火取出六部分组成,并提供了热处理装置设计。通过该装置和工艺可将用分子束外延(MBE)技术生...
杨建荣
陈新强
方维政
郭世平
张小平
于梅芳
乔怡敏
何力
文献传递
空穴导电碲镉汞外延材料处理工艺及装置
杨建荣
陈新强
方维政
郭世平
张小平
于梅芳
乔怡敏
何力
一种碲镉汞分子束外延材料真空热处理方法,包括碲镉汞分子束外延工艺、在碲镉汞分子束外延材料上生长一层CdTe覆盖层工艺和热处理工艺,其特征在于:带有CdTe覆盖层的碲镉汞样品直接在分子束外延的生长室中进行真空热处理,或者将...
关键词:
关键词:
碲镉汞
Ⅱ-Ⅵ族宽禁带蓝绿色发光器材料的MBE研究
被引量:2
1997年
本文报道ZnSe基ⅡⅥ族宽带发光材料分子束外延系统的建立、p型掺杂用等离子体活性氮源的研制、两性掺杂的ZnSe材料的生长。实验证明国产MBE设备能够自洽生长优质ZnSe单晶薄膜;用自制的等离子体活性氮源作受主掺杂剂,获得了pZnSe单晶薄膜,经CV测量发现,[Na][Nd]高达~5×1017·cm-3;用国产粉末状ZnCl2源作施主掺杂剂,获得了nZnSe单晶薄膜,Hal测量表明[n]高达~23×1019·cm-3。生长速度均控制在~05μm/h。
王善忠
姬荣斌
巫艳
许颐璐
郭世平
何力
关键词:
分子束外延
硫化锌
MBE
真空系统用石英活性气体发生装置
本实用新型提供一种新型的适用于超高真空用的用石英材料制作的气态活性原子、分子发生装置。它是将经过减压后工作气体通过真空漏阀输入到石英反应腔。在反应腔,气体与射频电场耦合产生的活性原子的分子的复合体通过泻流孔泄放至超高真空...
王善忠
许颐璐
杨建荣
俞锦陛
姬荣斌
巫艳
郭世平
何力
文献传递
碲镉汞材料热处理装置
一种碲镉汞材料的热处理装置,由样品架、密封罩、退火管、不锈钢密封头、隔膜阀、抽气管组成,巧妙地利用汞源兼作自密封密封罩的工质,形成了一种开管方式又具有闭管功能的退之装置;既具有开管装置的方便又具有闭管装置的优点。本装置适...
陈新强
方维政
杨建荣
郭世平
何力
文献传递
开管汞自封碲镉汞材料热处理装置
一种开管汞自封磅镉汞材料的热处理装置,由样品架、密封罩、退火管、不锈钢密封头、隔膜阀、抽气管组成,巧妙地利用汞源兼作自密封密封罩的工质,形成了一种开管方式又具有闭管功能的退火装置;既具有开管装置的方便又具有闭管装置的优点...
陈新强
方维政
杨建荣
郭世平
何力
文献传递
MBE生长碲镉汞的砷掺杂工艺及p-on-n光伏器件研究
郭世平
红外透射光谱在HgCdTe外延薄膜性能评价中的应用
被引量:13
1996年
用最新发表的HgCdTe材料的光学常数对MBE工艺生长的HgCdTe/CdTe/GaAs材料的透射光谱进行了理论计算.对受生长工艺破坏的衬底背面再次进行抛光处理,消除因表面不平整引起的漫反射效应,使实验测量得到的光谱曲线与理论计算结果很好地吻合,由此得到的HgCdTe和CdTe外延层的厚度和解理面上用显微镜测量的数值相同,准确度优于±0.2μm.确定HgCdTe组分的准确度优于±0.
杨建荣
王善力
郭世平
何力
关键词:
HGCDTE
外延层
红外透射光谱
P型长波Hg_(1-x)Cd_xTe材料MBE生长技术研究
被引量:7
1996年
用分子束外延的方法在GaAs(211)B衬底上研制了P型长波HgCdTe材料,及32×32小规模长波混成红外焦平面列阵,其材料的均匀性以及生长材料的参数的可重复性良好.在适当的热处理条件下,材料P型电学参数达到了较高水平。
王善力
杨建荣
郭世平
于梅芳
陈新强
方维政
乔怡敏
袁诗鑫
何力
张勤耀
丁瑞军
辛田玲
关键词:
分子束外延
P型
HGCDTE
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