乔怡敏 作品数:42 被引量:56 H指数:5 供职机构: 中国科学院上海技术物理研究所 更多>> 发文基金: 中国科学院知识创新工程 国家自然科学基金 国家杰出青年科学基金 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 自动化与计算机技术 电气工程 更多>>
空穴导电碲镉汞外延材料处理工艺及装置 杨建荣 陈新强 方维政 郭世平 张小平 于梅芳 乔怡敏 何力 一种碲镉汞分子束外延材料真空热处理方法,包括碲镉汞分子束外延工艺、在碲镉汞分子束外延材料上生长一层CdTe覆盖层工艺和热处理工艺,其特征在于:带有CdTe覆盖层的碲镉汞样品直接在分子束外延的生长室中进行真空热处理,或者将...关键词:关键词:碲镉汞 用CdZnTe作为衬底的HgCdTe分子束外延研究 陈路 巫艳 于梅芳 乔怡敏关键词:CDZNTE HGCDTE分子束外延 束源杂质引发的MBE HgCdTe表面缺陷 被引量:3 2007年 研究了利用GaAs作为衬底的HgCdTe MBE薄膜的表面缺陷,发现其中一类缺陷与Hg源中杂质有关。采用SEM对这类缺陷进行正面和横截面的观察,并采用EDX对其正面和横截面进行成分分析。并设计了两个实验:其一,在CdTe/GaAs衬底上,低温下用Hg源照射20min,再在其上继续高温生长CdTe;其二,在CdTe/GaAs衬底上,一直用Hg源照射下高温生长CdTe。两个实验后CdTe表面都出现与HgCdTe表面相比在形状和分布上类似的表面缺陷,采用光学显微镜和SEM对CdTe表面缺陷进行了观察,通过CdTe表面缺陷和HgCdTe表面缺陷的比较,我们证实了这类表面缺陷的成核起源于Hg源中杂质。 傅祥良 王伟强 于梅芳 乔怡敏 魏青竹 吴俊 陈路 巫艳 何力关键词:HGCDTE 分子束外延 超薄层AlGaAs样品的光调制反射谱研究 1997年 用调制光谱的方法对分子束外延(MBE)生长在GaAs(100)衬底上的一组超薄层本征型AlxGa1-xAs层进行了原位的研究.对厚度在35nm以下的一组样品观察到了若干个跃迁峰,而对厚度在100nm的样品只观察到了一个跃迁峰.观察到的各峰随厚度的改变而变化. 刘兴权 陆卫 穆耀明 乔怡敏 乔怡敏 万明芳 陈效双 严立平 万明芳关键词:铝镓砷 MBE As在HgCdTe分子束外延中的表面粘附系数 被引量:8 2002年 报道了用二次离子质谱分析 (SIMS)方法对As在碲镉汞分子束外延中的掺入行为的研究结果 .发现As在CdTe、HgCdTe表面的粘附系数很低 ,并与Hg的介入密切相关 .对于单晶HgCdTe外延 ,在 170℃生长温度下As的粘附率相对于多晶室温淀积仅为 3× 10 -4,在此生长温度下 ,通过优化生长条件获得了表面形貌良好的外延材料 .通过控制As束源炉的温度可以很好地控制As在HgCdTe层中的原子浓度 . 吴俊 巫艳 陈路 于梅芳 乔怡敏 何力关键词:二次离子质谱 分子束外延 碲镉汞 HgCdTe分子束外延In原子的掺杂特性 被引量:2 2002年 报道了用 MBE方法生长掺 In N型 Hg Cd Te材料的研究结果。发现 In作为 N型施主在 Hg Cd Te中的电学激活率接近 1 0 0 % ,其施主电离激活能至少小于 0 .6me V。确认了在制备红外焦平面探测器时有必要将掺杂浓度控制在约 3× 1 0 1 5cm- 3水平。比较了高温退火前后 In在 Hg Cd Te中的扩散行为 ,得出在 40 0°C温度下 In的扩散系数约为 1 0 - 1 4cm2 / sec,确认了 In原子作为 Hg Cd Te材料的 巫艳 陈路 于梅芳 乔怡敏 吴俊 何力 胡晓宁 李言谨 张勤耀 丁瑞军关键词:分子束外延 碲镉汞 红外焦平面 ZnCdTe衬底上HgCdTe分子束外延的位错密度 2002年 报道了用 MBE的方法 ,在 Zn Cd Te衬底上制备 Hg Cd Te薄膜的位错密度研究结果。研究发现Hg Cd Te材料的位错密度与 Zn Cd Te衬底的表面晶体损伤、Hg Cd Te生长条件以及材料组分密切相关。通过衬底制备以及生长条件的优化 ,在 Zn Cd Te衬底上生长的长波 Hg Cd Te材料 EPD平均值达到 4.2× 1 0 5cm- 2 ,标准差为 3 .5× 1 0 5cm- 2 ,接近 Zn Cd Te衬底的位错极限。可重复性良好 ,材料位错合格率为 73 .7%。可以满足高性能Hg Cd 于梅芳 巫艳 陈路 乔怡敏 杨建荣 何力关键词:分子束外延 碲镉汞 位错密度 红外焦平面探测器 用于碲镉汞外延生长的数字合金复合衬底及制备方法 本发明公开了一种用于碲镉汞外延生长的数字合金复合衬底及制备方法,衬底包括:基片,在基片上依次置有缓冲层、数字合金层、过渡层。制备方法采用常规的分子束外延或原子外延方法及后处理技术。通过不同的生长工艺条件和特定的结构解决了... 何力 陈路 巫艳 于梅芳 王元樟 吴俊 乔怡敏文献传递 热处理过程中Hg_(1-x)Cd_xTe/CdTe界面互扩散研究 被引量:5 1999年 对HgCdTe/CdTe/GaAs结构热处理后的样品进行深度剥层腐蚀,并用椭偏光谱测量方法,获得了样品在490℃经0.5h和2h热处理后不同深度下的组份分布.根据实验结果对Zanio等人提出的扩散系数公式进行了修正,得到490℃热处理条件下的组份扩散系数DHg1-xCdxTe(490℃)=4×10-3×10-3·x. 巫艳 杨建荣 方维政 王善力 于梅芳 乔怡敏 陈新强 何力关键词:异质结 互扩散 汞镉碲 Si基CdTe复合衬底分子束外延研究 被引量:1 2005年 文章引入晶格过渡的Si/ZnTe/CdTe作为复合外延基底材料,以阻挡Si/HgCdTe之间大晶格失配产生的高密度位错.通过对低温表面清洁化、面极性控制和孪晶抑制等的研究,解决了Si基CdTe分子束外延生长中诸多的技术难题.在国内首次采用分子束外延(MBE)的方法获得了大面积的Si基CdTe复合衬底材料,对应厚度为4~4.4μm Si/CdTe(211)样品双晶半峰宽的统计平均结果为83弧秒,与相同厚度的GaAs/CdTe(211)双晶平均水平相当. 陈路 王元樟 巫艳 吴俊 于梅芳 乔怡敏 何力关键词:硅基 碲镉汞 复合衬底 分子束外延