李雯
- 作品数：9 被引量：8H指数：1
- 供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程更多>>
- 紫外线厚胶光刻技术研究及应用被引量：6
- 2003年
- 紫外线厚胶光刻技术已广泛应用于 3D微机械结构的制作。本文选用AZ4 6 2 0和SU 8两种光刻厚胶 ,采用德国卡尔·休斯公司的MA 6双面对准光刻机 ,对紫外线光刻工艺条件进行了对比研究 ,结果表明 ,负性光刻胶SU 8的光敏性好 ,胶结构图形的侧墙较陡直 ,能够实现较大的深宽比 ,为复杂结构的三维微机械器件的制作提供了保证。
- 李雯谭智敏薛昕刘理天
- 关键词：SU-8
- 紫外厚胶光刻技术在3-D MEMS电感中的应用
- 研究了紫外厚胶光刻技术在三维微机械电感中的应用。实验用负性光刻胶SU-8构造了三维微机械电感的胶结构模型,并对光刻胶的工艺条件进行了研究。结果表明,负性光刻胶SU-8的光敏性好,形成的胶结构侧墙较陡直,能够实现较大的深宽...
- 李雯谭智敏薛昕刘理天
- 关键词：3-DMEMS电感
- 文献传递
- 紫外厚胶光刻技术在3-D MEMS电感中的应用被引量：1
- 2003年
- 研究了紫外厚胶光刻技术在三维微机械电感中的应用。实验用负性光刻胶SU-8构造了三维微机械电感的胶结构模型,并对光刻胶的工艺条件进行了研究。结果表明,负性光刻胶SU-8的光敏性好,形成的胶结构侧墙较陡直,能够实现较大的深宽比,为结构复杂的三维微机械电感的制作提供了保证。
- 李雯谭智敏薛昕刘理天
- 关键词：3-DMEMS
- 用于射频通信领域的3-D MEMS电感设计被引量：1
- 2003年
- 研究了影响3-D MEMS电感的电感值和Q值的主要因素,提出了电感值和Q值的理论计算模型。并利用该理论模型,对不同尺寸结构的三维微机械电感进行了数值模拟。根据理论计算的结果,设计了应用于射频通讯领域的高Q值3-DMEMS电感,并研究了电感制造的工艺流程。
- 李雯谭智敏刘理天
- 关键词：3-DMEMS
- 三维微机械电感的优化设计
- 2004年
- 研究了影响三维微机械电感电感值和Q值的主要因素 ,提出了电感值和Q值的理论计算模型。并利用该模型 ,对不同尺寸结构的三维微机械电感进行了数值模拟。根据理论计算的结果 ,得到了电感的优化结构 ,在 2 .5GHz的工作频率下 ,其电感值为 11nH ,Q值为 9。
- 李雯谭智敏刘理天
- 关键词：微电子机械系统电感优化设计
- 用于射频通信领域的3-D MEMS电感设计
- 研究了影响3-D MEMS电感的电感值和Q值的主要因素,提出了电感值和Q值的理论计算模型。并利用该理论模型,对不同尺寸结构的三维微机械电感进行了数值模拟。根据理论计算的结果,设计了应用于射频通讯领域的高Q值3-DMEMS...
- 李雯谭智敏刘理天
- 关键词：射频3-DMEMS电感
- 文献传递
- 紫外厚胶光刻技术在3-D MEMS电感中的应用
- 研究了紫外厚胶光刻技术在三维微机械电感中的应用.实验用负性光刻胶SU-8构造了三维微机械电感的胶结构模型,并对光刻胶的工艺条件进行了研究.结果表明,负性光刻胶SU-8的光敏性好,形成的胶结构侧墙较陡直,能够实现较大的深宽...
- 李雯谭智敏薛昕刘理天
- 关键词：电感光刻胶
- 文献传递
- 用于射频通信领域的3-D MEMS电感设计
- 研究了影响3-D MEMS电感的电感值和Q值的主要因素,提出了电感值和Q值的理论计算模型.并利用该理论模型,对不同尺寸结构的三维微机械电感进行了数值模拟.根据理论计算的结果,设计了应用于射频通讯领域的高Q值3-D MEM...
- 李雯谭智敏刘理天
- 关键词：射频通信电感设计光刻工艺
- 文献传递
- 紫外线厚胶光刻技术研究及应用
- 紫外线厚胶光刻技术已广泛应用于3D微机械结构的制作.本文选用AZ4620和SU-8两种光刻厚胶,采用德国卡尔*休斯公司的MA-6双面对准光刻机,对紫外线光刻工艺条件进行了对比研究,结果表明,负性光刻胶SU-8的光敏性好,...
- 李雯谭智敏薛昕刘理天
- 关键词：紫外光刻微机电系统厚胶光刻光刻胶微机械器件光敏性
- 文献传递
