薛昕
- 作品数：5 被引量：7H指数：1
- 供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程更多>>
- 紫外线厚胶光刻技术研究及应用被引量：6
- 2003年
- 紫外线厚胶光刻技术已广泛应用于 3D微机械结构的制作。本文选用AZ4 6 2 0和SU 8两种光刻厚胶 ,采用德国卡尔·休斯公司的MA 6双面对准光刻机 ,对紫外线光刻工艺条件进行了对比研究 ,结果表明 ,负性光刻胶SU 8的光敏性好 ,胶结构图形的侧墙较陡直 ,能够实现较大的深宽比 ,为复杂结构的三维微机械器件的制作提供了保证。
- 李雯谭智敏薛昕刘理天
- 关键词：SU-8
- 紫外厚胶光刻技术在3-D MEMS电感中的应用
- 研究了紫外厚胶光刻技术在三维微机械电感中的应用。实验用负性光刻胶SU-8构造了三维微机械电感的胶结构模型,并对光刻胶的工艺条件进行了研究。结果表明,负性光刻胶SU-8的光敏性好,形成的胶结构侧墙较陡直,能够实现较大的深宽...
- 李雯谭智敏薛昕刘理天
- 关键词：3-DMEMS电感
- 文献传递
- 紫外厚胶光刻技术在3-D MEMS电感中的应用被引量：1
- 2003年
- 研究了紫外厚胶光刻技术在三维微机械电感中的应用。实验用负性光刻胶SU-8构造了三维微机械电感的胶结构模型,并对光刻胶的工艺条件进行了研究。结果表明,负性光刻胶SU-8的光敏性好,形成的胶结构侧墙较陡直,能够实现较大的深宽比,为结构复杂的三维微机械电感的制作提供了保证。
- 李雯谭智敏薛昕刘理天
- 关键词：3-DMEMS
- 紫外厚胶光刻技术在3-D MEMS电感中的应用
- 研究了紫外厚胶光刻技术在三维微机械电感中的应用.实验用负性光刻胶SU-8构造了三维微机械电感的胶结构模型,并对光刻胶的工艺条件进行了研究.结果表明,负性光刻胶SU-8的光敏性好,形成的胶结构侧墙较陡直,能够实现较大的深宽...
- 李雯谭智敏薛昕刘理天
- 关键词：电感光刻胶
- 文献传递
- 紫外线厚胶光刻技术研究及应用
- 紫外线厚胶光刻技术已广泛应用于3D微机械结构的制作.本文选用AZ4620和SU-8两种光刻厚胶,采用德国卡尔*休斯公司的MA-6双面对准光刻机,对紫外线光刻工艺条件进行了对比研究,结果表明,负性光刻胶SU-8的光敏性好,...
- 李雯谭智敏薛昕刘理天
- 关键词：紫外光刻微机电系统厚胶光刻光刻胶微机械器件光敏性
- 文献传递
