您的位置： 专家智库 > >

余俊阳

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：上海大学更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 5篇气相沉积
  • 4篇晶粒
  • 4篇半导体
  • 3篇多晶
  • 3篇射线
  • 3篇物理气相沉积
  • 2篇导体
  • 2篇掩膜
  • 2篇掩膜板
  • 2篇探测器
  • 2篇特殊设计
  • 2篇气相
  • 2篇气相沉积法
  • 2篇晶化率
  • 2篇晶粒大小
  • 2篇化学腐蚀
  • 2篇硅薄膜
  • 2篇非晶硅
  • 2篇非晶硅薄膜
  • 2篇Γ射线

机构

  • 7篇上海大学

作者

  • 7篇余俊阳
  • 6篇史伟民
  • 4篇郑耀明
  • 4篇张瑜
  • 4篇陈盛
  • 2篇郭余英
  • 2篇郑伟峰
  • 2篇黄璐
  • 2篇金晶
  • 2篇陈洁利
  • 2篇王漪

年份

  • 1篇2011
  • 3篇2010
  • 1篇2009
  • 2篇2008
共 7 条 记 录，以下是 1-7
全选 清除 导出
排序方式：
用醋酸镍溶液诱导晶化非晶硅薄膜的方法
本发明涉及一种用醋酸镍溶液诱导晶化非晶硅薄膜的方法。属于多晶硅薄膜制备工艺技术领域。本发明方法主要过程为：(1)将镀有氧化铟锡(ITO)的玻璃作为衬底，并进行洁净处理；(2)非晶硅薄膜的制备，用气相沉积法在玻璃衬底上沉积...
史伟民金晶陈盛陈洁利余俊阳黄璐
文献传递
超声波作用下碘化汞薄膜的制备方法
本发明涉及一种超声波作用下碘化汞薄膜的制备方法，主要是在超声波作用下的真空蒸发物理气相沉积生长薄膜的方法，它特别是一种χ射线、γ射线探测器用的碘化汞多晶半导体薄膜的制备方法，属半导体薄膜制备工艺技术领域。本发明利用一特殊...
郑耀明史伟民郭余英张瑜陈盛余俊阳
文献传递
超声波作用下碘化汞薄膜的制备方法
本发明涉及一种超声波作用下碘化汞薄膜的制备方法，主要是在超声波作用下的真空蒸发物理气相沉积生长薄膜的方法，它特别是一种χ射线、γ射线探测器用的碘化汞多晶半导体薄膜的制备方法，属半导体薄膜制备工艺技术领域。本发明利用一特殊...
郑耀明史伟民郭余英张瑜陈盛余俊阳
文献传递
多晶碘化汞薄膜室温核辐射探测器的制备方法
本发明涉及一种多晶碘化汞薄膜室温核辐射探测器的制备方法，特别是一种X射线、γ射线室温核辐射探测器的制备方法，属半导体探测器制备工艺技术领域。该探测器的制备方法是：先将在衬底基片上制得的由柱状晶粒组成的多晶薄膜进行机械粗抛...
郑耀明史伟民张瑜余俊阳郑伟峰王漪
文献传递
用于X射线成像显示的多晶碘化汞探测器制备及性能的研究
余俊阳
关键词：物理气相沉积平板探测器
用醋酸镍溶液诱导晶化非晶硅薄膜的方法
本发明涉及一种用醋酸镍溶液诱导晶化非晶硅薄膜的方法。属于多晶硅薄膜制备工艺技术领域。本发明方法主要过程为：(1)将镀有氧化铟锡(ITO)的玻璃作为衬底，并进行洁净处理；(2)非晶硅薄膜的制备，用气相沉积法在玻璃衬底上沉积...
史伟民金晶陈盛陈洁利余俊阳黄璐
多晶碘化汞薄膜室温核辐射探测器的制备方法
本发明涉及一种多晶碘化汞薄膜室温核辐射探测器的制备方法，特别是一种X射线、γ射线室温核辐射探测器的制备方法，属半导体探测器制备工艺技术领域。该探测器的制备方法是：先将在衬底基片上制得的由柱状晶粒组成的多晶薄膜进行机械粗抛...
郑耀明史伟民张瑜余俊阳郑伟峰王漪
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0