陈盛
- 作品数:8 被引量:2H指数:1
- 供职机构:上海大学更多>>
- 发文基金:上海市教育委员会重点学科基金更多>>
- 相关领域:电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 超声波作用下碘化汞薄膜的制备方法
- 本发明涉及一种超声波作用下碘化汞薄膜的制备方法,主要是在超声波作用下的真空蒸发物理气相沉积生长薄膜的方法,它特别是一种χ射线、γ射线探测器用的碘化汞多晶半导体薄膜的制备方法,属半导体薄膜制备工艺技术领域。本发明利用一特殊...
- 郑耀明史伟民郭余英张瑜陈盛余俊阳
- 文献传递
- 用醋酸镍溶液诱导晶化非晶硅薄膜的方法
- 本发明涉及一种用醋酸镍溶液诱导晶化非晶硅薄膜的方法。属于多晶硅薄膜制备工艺技术领域。本发明方法主要过程为:(1)将镀有氧化铟锡(ITO)的玻璃作为衬底,并进行洁净处理;(2)非晶硅薄膜的制备,用气相沉积法在玻璃衬底上沉积...
- 史伟民金晶陈盛陈洁利余俊阳黄璐
- 用醋酸镍溶液诱导晶化非晶硅薄膜的方法
- 本发明涉及一种用醋酸镍溶液诱导晶化非晶硅薄膜的方法。属于多晶硅薄膜制备工艺技术领域。本发明方法主要过程为:(1)将镀有氧化铟锡(ITO)的玻璃作为衬底,并进行洁净处理;(2)非晶硅薄膜的制备,用气相沉积法在玻璃衬底上沉积...
- 史伟民金晶陈盛陈洁利余俊阳黄璐
- 文献传递
- 激光晶化非晶硅薄膜的表面机理研究被引量:2
- 2010年
- 采用PECVD工艺在普通玻璃衬底上制备非晶硅薄膜,用波长为532nm的倍频Nd:YAG激光对非晶硅薄膜的表层进行了晶化。研究了激光能量密度对非晶硅薄膜表面结晶度以及晶粒大小的影响,并对晶化后的非晶硅表面形貌进行了表征。研究结果表明:该非晶硅薄膜晶化的阈值能量密度为800 mJ/cm^2,当激光能量密度大于该值时,晶化效果反而变差。同时经过拉曼光谱表征,经由高斯拟合和数值计算得出薄膜结晶度在45%~60%之间,平均晶粒尺寸在30~50nm。
- 陈盛史伟民金晶秦娟王漪夏义本
- 关键词:等离子体化学气相沉积激光晶化纳米硅
- 智能电网视角下的智能用电技术
- 陈盛
- 关键词:智能电网智能电表需求响应
- 激光诱导晶化法制备太阳能电池纳米硅薄膜
- 非晶硅(a-si)薄膜太阳电池比起晶体硅太阳电池有诸多优势。但是同时,a-si的缺点也是很明显的,主要就是初始光电转换效率较低,稳定性较差.为此,我们在a-si薄膜的基础上引入再结晶技术,利用激光诱导晶化的方法将沉积好的...
- 陈盛史伟民金晶秦娟王漪曹泽淳
- 文献传递
- 超声波作用下碘化汞薄膜的制备方法
- 本发明涉及一种超声波作用下碘化汞薄膜的制备方法,主要是在超声波作用下的真空蒸发物理气相沉积生长薄膜的方法,它特别是一种χ射线、γ射线探测器用的碘化汞多晶半导体薄膜的制备方法,属半导体薄膜制备工艺技术领域。本发明利用一特殊...
- 郑耀明史伟民郭余英张瑜陈盛余俊阳
- 文献传递
- 太阳电池级用非晶硅薄膜的表面晶化工艺研究
- 陈盛
- 关键词:激光晶化溶液法非晶硅太阳电池