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卢意飞

作品数：35 被引量：0H指数：0
供职机构：上海集成电路研发中心更多>>
发文基金：上海市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 33篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 8篇电子电信
  • 6篇自动化与计算...
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学

主题

  • 9篇光刻
  • 8篇通孔
  • 6篇电学
  • 6篇介质层
  • 6篇刻蚀
  • 5篇图像
  • 4篇图像传感器
  • 4篇量测
  • 4篇量测数据
  • 4篇晶圆
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇电阻
  • 3篇沟道
  • 3篇光刻工艺
  • 3篇硅片
  • 2篇低密度
  • 2篇电路
  • 2篇电学特性

机构

  • 35篇上海集成电路...
  • 2篇中国科学院

作者

  • 35篇卢意飞
  • 5篇左青云
  • 5篇袁伟
  • 4篇胡红梅
  • 4篇李铭
  • 2篇赵宇航
  • 2篇孙德明
  • 2篇刘强
  • 1篇张远
  • 1篇郭奥
  • 1篇蒋宾
  • 1篇周伟
  • 1篇刘林林

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 2篇2024
  • 7篇2023
  • 1篇2022
  • 1篇2021
  • 6篇2018
  • 8篇2017
  • 1篇2016
  • 3篇2015
  • 2篇2014
  • 2篇2013
  • 2篇2012
共 35 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
硅通孔结构及其制造方法
本发明所述硅通孔结构及其制造方法，通过在形成若干层间介质层之前，在所述金属前介质层和半导体衬底中形成窗口，并在所述窗口中形成第二阻挡层，而形成若干层间介质层之后，形成通孔，其中所述通孔的孔径小于形成第二阻挡层后的窗口的孔...
卢意飞
一种通孔图形的形成方法
本发明提供一种通孔图形的形成方法。本发明方法包括，在衬底上依次沉积介质层、第一和第二硬掩膜层；涂布第一光阻膜，通过曝光和刻蚀工艺，用网格状第一通孔子图形图案化第二硬掩膜层；去除第一光阻膜；再次涂布第二光阻膜，光刻后，用网...
卢意飞
文献传递
一种晶圆缺陷检测方法
本发明提供所述晶圆缺陷检测方法，在对目标方块单元中周期性重复图形的区域进行缺陷检测的过程中，通过确定最小周期并设定偏移量，将参考方块单元图形按照所述偏移量进行偏移获得偏移参考区域，将所述待检区域图形与所述偏移参考区域进行...
卢意飞
文献传递
一种基于规则的亚分辨率辅助图形添加方法
本发明公开了一种基于规则的亚分辨率辅助图形添加方法，包括：设计主图形，所述主图形为需要曝光显影的各种图形的集合；基于添加规则在主图形上添加亚分辨率辅助图形；进行光刻仿真；扫描仿真结果,计算主图形中各个图形经曝光后的尺寸，...
卢意飞
图像传感器
本申请提供一种图像传感器，涉及半导体技术领域，用于解决电荷转移噪声和集成度难以兼顾的技术问题，该图像传感器包括：具有多个光电掺杂区的衬底；设置在衬底上的多个栅极结构，每个栅极结构包括栅极，以及位于栅极和衬底之间的栅介质层...
李梦卢意飞孙德明
图像自动白平衡方法、装置、介质和设备
本发明公开了一种图像自动白平衡方法、装置、介质和设备，该方法包括：获取在不同色温下对白色物体拍摄所得到的L帧参考原始图像；统计每帧参考原始图像的白色像素点的G/B比值和G/R比值；然后确定白色像素点在设定坐标系下的分布状...
张佳琼卢意飞张远
图像传感器及其制造方法
本发明提供了一种图像传感器及其制造方法。所述图像传感器包括衬底、金属互连介质层、相互电绝缘的若干光电转换单元、与所述若干光电转换单元一一对应设置的若干光栅结构和滤光层。所述滤光层包含与所述若干光栅结构一一对应设置并填充所...
魏松卢意飞宋雷王玮左青云
一种鳍式场效晶体管电学特性的测量结构
本发明公开了一种鳍式场效晶体管电学特性的测量结构，通过在鳍式场效晶体管的等效结构上设置五个接线端口，其中第一、第四接线端口分别由鳍式场效晶体管中间层开尔文结构的下表面引出，第二、第三接线端口分别由开尔文结构的上表面引出，...
袁伟李铭胡红梅卢意飞
文献传递
一种控制辅助图形信号误报率的OPC建模方法
一种控制OPC辅助图形信号误报率的建模方法，包括设计测试主图形；所述测试主图形通常包含一维和二维的标准图形，并设计多组辅助图形添加在标准一维和二维图形周边；收集测试主图形的在线线宽量测数据及所述多组辅助图形成像数据；建立...
卢意飞
文献传递
一种通孔层OPC建模方法
本发明公开了一种通孔层OPC建模方法，通过在晶圆上进行采样，分别采集采样图形在多个方向的线宽量测数据，建立测试图形的采样图形与其在上述多个方向的线宽量测数据之间的一一对应的文件，通过模型拟合运算求出测试图形的采样图形在上...
卢意飞
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