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华海清科(北京)科技有限公司

作品数：76 被引量：0H指数：0
相关机构：华海清科股份有限公司北京燕东微电子科技有限公司北京北方华创微电子装备有限公司更多>>
相关领域：金属学及工艺自动化与计算机技术文化科学电子电信更多>>

合作机构

文献类型

  • 75篇专利
  • 1篇标准

领域

  • 15篇金属学及工艺
  • 6篇自动化与计算...
  • 5篇电子电信
  • 5篇文化科学
  • 2篇矿业工程
  • 2篇机械工程
  • 2篇轻工技术与工...
  • 2篇交通运输工程
  • 2篇环境科学与工...
  • 2篇医药卫生
  • 1篇经济管理
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 49篇晶圆
  • 19篇抛光
  • 12篇吸盘
  • 11篇组件
  • 10篇基板
  • 10篇夹持
  • 10篇减薄
  • 9篇竖直
  • 9篇抛光垫
  • 9篇抛光液
  • 9篇流体
  • 8篇装载
  • 8篇壳体
  • 8篇摆臂
  • 6篇竖向
  • 6篇转台
  • 6篇外周
  • 6篇可旋转
  • 6篇半导体
  • 4篇直角坐标系

机构

  • 76篇华海清科(北...
  • 25篇华海清科股份...
  • 1篇北京锐洁机器...
  • 1篇SMC(中国...
  • 1篇北京北方华创...
  • 1篇北京燕东微电...

年份

  • 25篇2024
  • 16篇2023
  • 6篇2022
  • 15篇2021
  • 14篇2020
共 76 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
具有温控模块的化学机械抛光装置
一种具有温控模块的化学机械抛光装置，包括：抛光盘，用于使抛光垫与其一起旋转；承载头，其配置有保持环以接收晶圆并将晶圆加载于所述抛光垫；承载头驱动装置，包括电机、驱动轴、气动组件、外壳和控制单元；电机和气动组件配置于所述外...
申兵兵孙张璞其他发明人请求不公开姓名
文献传递
一种化学机械抛光头和抛光系统
本发明公开了一种化学机械抛光头和抛光系统，所述化学机械抛光头包括联轴盘、承载盘、弹性膜和保持环，所述承载盘通过连接膜与所述联轴盘固定，所述弹性膜通过固定压环安装于所述承载盘的底部，所述保持环设置于所述弹性膜的外周侧并位于...
孟松林
文献传递
晶圆减薄系统及方法、电子设备、存储介质
本申请实施例公开了一种晶圆减薄系统及方法、电子设备、存储介质，晶圆减薄方法包括：针对一批次待减薄晶圆中的第n片晶圆，根据磨削系数控制磨削模块对第n片晶圆进行磨削，并根据压力响应系数控制抛光模块对磨削后的晶圆进行一次抛光，...
路新春赵德文温世乾吴英明田芳馨
用于晶圆的金属薄膜厚度测量方法、装置、抛光设备和介质
本申请实施例提供了一种用于晶圆的金属薄膜厚度测量方法、装置、抛光设备和介质，其中方法包括：根据电涡流传感器采集的测量信号，确定晶圆上金属薄膜的基准厚度，其中，测量信号用于指示金属薄膜上不同位置的测量厚度；根据基准厚度包括...
路新春吴英明田芳馨刘杰
一种基板传输装置和基板磨削装备
本发明公开了一种基板传输装置和基板磨削装备，所述基板传输装置包括安装座，所述安装座的上方设置有摆臂，其能够相对于安装座移动和/或转动；所述摆臂配置有装载机构，以装载待周转的基板；所述装载机构包括吸附组件和夹持组件，以适用...
韩晓铠刘远航马旭
具有差动螺纹结构的磨削设备
本发明公开了一种具有差动螺纹结构的磨削设备，包括工作台、吸盘转台、磨削工具、以及角度调节装置，其包括与吸盘转台连接的第一差动螺纹组件和第二差动螺纹组件，第一差动螺纹组件用于使吸盘转台绕第二定向转动，第二差动螺纹组件用于使...
付永旭刘远航赵德文李长坤路新春
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法
本申请实施例提供了一种晶圆清洗装置及晶圆清洗方法，晶圆清洗装置包括基座、清洗组件、多个第一动力件和多个夹持组件；清洗组件和多个夹持组件均设置至基座，多个第一动力件分别设置至多个夹持组件和基座之间，多个夹持组件能够，且多个...
刘卫坤刘远航靳凯强
一种晶圆翻转装置
本实用新型公开了一种晶圆翻转装置，其包括：支撑组件，以支撑待翻转的晶圆；夹紧组件，其设置于所述支撑组件上方，以侧向夹紧待翻转的晶圆；翻转驱动组件，其连接于所述夹紧组件，以带动夹紧组件及其上的晶圆翻转；所述支撑组件包括多个...
张美美刘效岩徐俊成
一种晶圆清洗装置
本发明公开了一种晶圆清洗装置，其包括：夹持组件，其水平夹持并驱动晶圆旋转；刷洗组件，其设置于所述夹持组件的侧部；所述刷洗组件包括摆臂，所述摆臂能够摆动至夹持组件的上方，其上的清洗刷沿晶圆的半径方向摆动以刷洗晶圆；所述清洗...
王鹏徐俊成刘丰迪张美美
晶圆清洗装置
本发明公开了晶圆清洗装置，其包括：壳体；支撑组件，其位于所述壳体中，用于可旋转地支撑沿竖直方向设置的待清洗的晶圆；清洗刷，其平行、间隔设置并绕其轴线滚动；护板，其设置于所述清洗刷的上侧，以阻挡清洗刷滚动产生的流体溅落至晶...
许振杰王同庆
文献传递
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