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北京锐洁机器人科技有限公司

作品数：89 被引量：0H指数：0
相关机构：北京北方华创微电子装备有限公司东北师范大学北京机械工业自动化研究所有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学金属学及工艺医药卫生更多>>

合作机构

文献类型

  • 87篇专利
  • 2篇标准

领域

  • 23篇自动化与计算...
  • 7篇文化科学
  • 3篇金属学及工艺
  • 1篇经济管理
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇电子电信
  • 1篇医药卫生

主题

  • 56篇晶圆
  • 28篇机械手
  • 24篇半导体
  • 22篇执行器
  • 21篇末端执行器
  • 13篇感器
  • 13篇传感
  • 13篇传感器
  • 9篇圆片
  • 9篇晶圆片
  • 8篇气道
  • 8篇装载
  • 8篇搬运机械手
  • 6篇连接件
  • 5篇片盒
  • 5篇转运
  • 5篇组件
  • 5篇模组
  • 5篇机器人
  • 5篇夹持

机构

  • 89篇北京锐洁机器...
  • 2篇北京北方华创...
  • 1篇大连理工大学
  • 1篇东北师范大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇沈阳新松机器...
  • 1篇沈阳芯源微电...
  • 1篇北京机械工业...
  • 1篇SMC(中国...
  • 1篇中国科学院沈...
  • 1篇北京燕东微电...
  • 1篇华海清科(北...

作者

  • 1篇王金涛
  • 1篇徐方

年份

  • 28篇2024
  • 21篇2023
  • 2篇2022
  • 4篇2021
  • 5篇2020
  • 5篇2019
  • 10篇2018
  • 3篇2017
  • 9篇2016
  • 2篇2015
共 89 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种防水型晶圆搬运机械手
本发明公开了一种防水型晶圆搬运机械手，包括机械手，所述机械手包括机械臂、防水增高筒、翻转机构和晶圆夹持手，所述机械臂、防水增高筒、翻转机构和晶圆夹持手配合运动并供晶圆夹持搬运；防水部，所述防水部包括死防水分部和活防水分部...
李庆达刘冬梅王强王勇
一种晶圆ID视觉识别装置
本实用新型涉及一种晶圆ID视觉识别装置，包括视觉相机，用于识别晶圆ID；还包括底座；所述底座滑动设置有支撑杆及固定设置有驱动装置；所述驱动装置与所述支撑杆连接，驱动所述支撑杆左、右移动；所述支撑杆通过连接座和所述视觉相机...
杨佳硕刘冬梅王强
一种晶圆盒装载台
本实用新型提供了一种晶圆装载台，涉及半导体技术领域，解决了突出晶圆需人工介入处理、费时费力的技术问题。该晶圆装载台包括机架，装载平台、晶圆突出归位机构和平台升降传动机构，装载平台通过平台升降传动机构活动设置在机架上，以在...
尹诚诚刘广齐刘冬梅王强董纯洁
文献传递
一种多尺寸兼容晶圆扫描装置及晶圆扫描方法
本发明提供了一种多尺寸兼容晶圆扫描装置及晶圆扫描方法，涉及集成电路制造设备技术领域，解决了现有技术中存在的不能自动调整传感器间距，难以高效兼容不同尺寸晶圆的技术问题。该多尺寸兼容晶圆扫描装置包括间距调节机构，间距调节机构...
刘海彬刘广齐刘冬梅王勇王强董纯洁尹诚诚董治祥
桌面级翘曲度扫描方法及设备
本发明公开了一种桌面级翘曲度扫描方法及设备，桌面级翘曲度扫描设备包括片盒平台、自反射光电传感器、在位检测模块、突出检测模块和直线模组；片盒平台用于摆放片盒，在位检测模块用于检测片盒是否摆放准确，突出检测模块用于检测晶圆片...
魏岩年
文献传递
搬运用末端执行器
本实用新型搬运用末端执行器涉及一种机器人执行机构。本实用新型搬运用末端执行器，包括板体，所述板体上设有吸附端和通气端，所述通气端上设有气孔，所述板体内开设有气道，所述吸附端设有气流旋回槽和接触支撑板，所述气道的两端分别连...
程二亭王强孙金召
文献传递
一种伯努利手指
本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种伯努利手指；本发明伯努利手指包括手指和伯努利吸盘，在手指头端设置多个凹槽，伯努利吸盘固定设置于凹槽内，伯努利吸盘包括盘体和垫片，盘体内嵌于凹槽内，凹槽中心设置气孔，凹槽内壁具...
杨朋伟刘冬梅刘广齐王强王鑫
一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器
本实用新型公开了一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器，包括执行器本体和执行器安装板，执行器本体与执行器安装板相固定连接；执行器本体内开设有末端执行器气道，执行器本体表面开设有吸附口和末端执行器气孔，吸附口和末端执行器气...
魏岩年
文献传递
一种装载晶圆的石墨圆盘定位装置
本发明提供了一种装载晶圆的石墨圆盘定位装置，包括：装置本体、运动部、连接部以及承载台；所述装置本体为箱体结构；所述运动部包括两个运动端，所述运动端设置于所述装置本体内部的底部，且能够沿着所述装置本体的两个相对侧面的方向做...
刘相营刘冬梅王强王勇
立替机
1.本外观设计产品的名称：立替机。;2.本外观设计产品的用途：用于对半导体晶片进行导片、替换承载盒的设备，主要用于半导体领域。;3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。;4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
牛立群刘冬梅
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