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教育部重点实验室开放基金(11ZXZK03)
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15
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高杨
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高杨
供职机构:重庆大学
研究主题:微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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何移
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:薄膜体声波谐振器 FBAR 流量传感器 微电子机械系统 有限元分析
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周斌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:薄膜体声波谐振器 FBAR 流量传感器 微电子机械系统 有限元分析
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李君儒
供职机构:重庆大学
研究主题:FBAR 薄膜体声波谐振器 膜片 微加速度计 温度稳定性
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何婉婧
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:薄膜体声波谐振器 FBAR 膜片 微加速度计 温度稳定性
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官承秋
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微机械陀螺 流量传感器 微电子机械系统 测试装置 信号接口
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代富
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:MEMS 流量传感器 微电子机械系统 微机械陀螺 传感器设计
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秦燃
供职机构:西南科技大学信息工程学院
研究主题:射频微电子机械系统 并联开关 开关 驱动电压 电容式
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刘婷婷
供职机构:西南科技大学信息工程学院
研究主题:微电子机械系统 微通道热沉 微通道 微流体 MEMS
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刘显学
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 加速度计 石英 微机械陀螺 微加速度计
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