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教育部重点实验室开放基金(11ZXZK03)
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高杨
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李君儒
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中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:热电池 太赫兹 引信 仿真 微电子机械系统
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研究主题:数值模拟 实证研究 镁合金 力学性能 性能研究
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重庆大学光电工程学院新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室
研究主题:薄膜体声波谐振器 微机电系统 MEMS 微型光谱仪 FBAR
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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