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吕菲
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供职机构:
中国电子科技集团公司
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合作作者
杨洪星
中国电子科技集团公司
刘春香
中国电子科技集团公司
赵权
中国电子科技集团公司
于妍
中国电子科技集团公司
张伟才
中国电子科技集团公司
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杨洪星
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:锗 单晶片 抛光片 晶片 表面粗糙度
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刘春香
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 抛光片 抛光液 抛光 砷化镓
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所获资助
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赵权
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 锗 锗单晶 晶片 抛光片
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于妍
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:酸腐蚀 翘曲 单晶片 翘曲度 冰乙酸
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张伟才
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:硅单晶 锗 单晶片 晶片 硅片
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佟丽英
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 抛光片 电阻率 硅单晶 少子寿命
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刘洋
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:超导滤波器 超导 高温超导 窄带 低温放大器
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韩焕鹏
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:硅单晶 锗 单晶炉 晶片 单晶片
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张睿
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:保温性 服务器 放肩 硅单晶 信息匹配
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刘娜
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:信息网络 网络性能 移动数据服务 大数据 存储介质
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