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陈必雄
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘恺
中国电子科技集团公司第四十八研...
宋玲
中国电子科技集团公司第四十八研...
杨彬
中国电子科技集团公司第四十八研...
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温度控制
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机构
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杨彬
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:氧化炉 PECVD 管式 化学气相淀积 扩散炉
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宋玲
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:生产型 串级控制 LPCVD LP CVD设备
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刘恺
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:PECVD 管式 多晶硅 太阳能电池 生产型
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