杨彬
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 相关领域：电气工程电子电信更多>>
- 液态源可控蒸发输送系统被引量：1
- 2014年
- 在太阳能电池、微电子等半导体工艺制程中,液态源以生产效率高、成膜特性好、气压小不易泄漏等优点,广泛应用于扩散、氧化、化学气相沉积等工艺。如:在太阳能电池PN结制程中,掺杂用的液态磷源、液态硼源,以及在湿氧氧化工艺中使用的蒸馏水;在光电子、微电子行业中,化学气相淀积设备(CVD)使用的HMDSO、TEOS、SiHCl3等。实验数据显示,这些液态源的输送对各种掺杂、氧化、淀积工艺的质量具有很大影响。对液态源输送的技术现状进行阐述,分析了现有技术的特性和缺点,并结合未来工艺对装备要求的趋势,在此基础上提出了一种液态源可控蒸发输送系统。
- 吴得轶杨彬
- 关键词：扩散炉氧化炉化学气相淀积
- 生产型管式PECVD设备被引量：1
- 2005年
- 太阳能电池作为新一代的绿色安全、无污染、长寿命的能源,已经广泛在欧洲等发达国家的军民行业中应用并在我国迅速推广。论述了由中国电子科技集团公司第四十八研究所研制的生产型管式PECVD设备的原理、构成及特点,并对其工艺结果进行了讨论。该设备已在国内太阳能电池生产线上运行近一年,其可靠性高,成膜均匀性好,得到了用户的好评。
- 宋玲刘恺杨彬陈必雄
- 关键词：PECVD太阳能电池多晶硅
