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陈必雄

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电池
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇生产型
  • 1篇太阳能
  • 1篇太阳能电池
  • 1篇管式
  • 1篇PECVD

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇杨彬
  • 1篇宋玲
  • 1篇刘恺
  • 1篇陈必雄

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
生产型管式PECVD设备被引量：1
2005年
太阳能电池作为新一代的绿色安全、无污染、长寿命的能源,已经广泛在欧洲等发达国家的军民行业中应用并在我国迅速推广。论述了由中国电子科技集团公司第四十八研究所研制的生产型管式PECVD设备的原理、构成及特点,并对其工艺结果进行了讨论。该设备已在国内太阳能电池生产线上运行近一年,其可靠性高,成膜均匀性好,得到了用户的好评。
宋玲刘恺杨彬陈必雄
关键词：PECVD太阳能电池多晶硅
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