2025年1月15日
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尹康达
作品数:
4
被引量:25
H指数:3
供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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发文基金:
国家中长期科技发展规划重大专项
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
王辰伟
河北工业大学信息工程学院微电子...
郑伟艳
河北工业大学信息工程学院微电子...
岳红维
河北工业大学信息工程学院微电子...
王胜利
河北工业大学信息工程学院微电子...
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
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研究领域
刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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所获资助
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郑伟艳
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 铜布线 碱性抛光液 化学机械平坦化 碱性
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供职机构
所获资助
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王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
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岳红维
供职机构:中国电子科技集团第五十四研究所
研究主题:化学机械平坦化 CMP 铜布线 铜 测试仪器
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魏文浩
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:碱性 抛光液 选择性 阻挡层 碟形
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串利伟
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:化学机械平坦化 铜布线 CMP 碱性 速率
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李湘
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:氧化剂 碱性抛光液 稳定性 双氧水
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牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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