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潘辉

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：河北省自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 3个理学
  • 2个化学工程
  • 2个金属学及工艺
  • 2个机械工程
  • 2个一般工业技术
  • 1个冶金工程
  • 1个自动化与计算...
  • 1个建筑科学
  • 1个环境科学与工...

主题

  • 4个抛光
  • 4个抛光液
  • 4个去除速率
  • 4个阻挡层
  • 3个电偶
  • 3个电偶腐蚀
  • 3个电阻
  • 3个碟形
  • 3个钝化层
  • 3个多胺
  • 3个铜布线
  • 2个单因素
  • 2个电化学
  • 2个电路
  • 2个选择比
  • 2个选择性
  • 2个盐酸胍
  • 2个氧化剂
  • 2个抑制剂
  • 2个硬盘

机构

  • 4个河北工业大学

资助

  • 4个国家科技重大...
  • 4个国家中长期科...
  • 4个河北省自然科...
  • 3个国家自然科学...
  • 3个河北省教育厅...
  • 2个天津市自然科...
  • 1个博士科研启动...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个河北省高等学...
  • 1个河北省教育厅...
  • 1个河北省教育厅...
  • 1个河北省教育厅...
  • 1个河北省科技厅...

传媒

  • 4个半导体技术
  • 4个微纳电子技术
  • 3个稀有金属
  • 2个电镀与涂饰
  • 2个润滑与密封
  • 2个功能材料
  • 2个河北工业大学...
  • 1个天津科技
  • 1个Journa...
  • 1个物理学报
  • 1个高分子材料科...
  • 1个塑料工业
  • 1个北京理工大学...
  • 1个人工晶体学报
  • 1个微电子学
  • 1个清洗世界
  • 1个2004年全...
  • 1个2006年全...
  • 1个2006全国...
  • 1个第十三届全国...

地区

  • 2个天津市
  • 2个河北省
共 4 条 记 录，以下是 1-4
张乐
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 H2O2 阻挡层 RU
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王胜利
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 螯合剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高娇娇
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 化学机械抛光 碱性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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