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杨飞
作品数:
2
被引量:4
H指数:1
供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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发文基金:
国家中长期科技发展规划重大专项
河北省高等学校科学技术研究指导项目
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘楠
河北工业大学信息工程学院微电子...
田巧伟
河北工业大学信息工程学院微电子...
苏伟东
河北工业大学信息工程学院微电子...
高宝红
河北工业大学信息工程学院微电子...
檀柏梅
河北工业大学信息工程学院微电子...
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田巧伟
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:铜布线 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 纳米SIO
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苏伟东
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:铜布线 CMP 非离子表面活性剂 化学机械抛光 BTA
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刘楠
供职机构:河北工业大学
研究主题:地下水 铜布线 CMP 化学机械抛光 环境容量
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高宝红
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
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黄妍妍
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 外延层 气相 液晶屏 液晶
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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