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李秀强
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王俭峰
中国电子科技集团公司第四十六研...
李亚光
中国电子科技集团公司第四十六研...
佟丽英
中国电子科技集团公司第四十六研...
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王俭峰
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:LPCVD TEOS 二氧化硅薄膜 均匀性 淀积速率
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相关人物
供职机构
所获资助
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佟丽英
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 抛光片 电阻率 硅单晶 少子寿命
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相关人物
供职机构
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李亚光
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:AL 染色液 P LPCVD TEOS
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