2024年12月27日
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汪海波
作品数:
10
被引量:19
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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上海市重大科技攻关项目
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
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合作作者
刘卫丽
中国科学院上海微系统与信息技术...
宋志棠
中国科学院上海微系统与信息技术...
张磊
中国科学院上海微系统与信息技术...
胡晓凯
中国科学院上海微系统与信息技术...
张泽芳
中国科学院上海微系统与信息技术...
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刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
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宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
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张磊
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:振荡器 晶向 谐振结构 振动梁 重掺杂
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胡晓凯
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 大粒径 粗糙度 半导体 凹陷
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封松林
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:相变存储器 相变材料 相变 电阻 存储器
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张泽芳
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 氧化硅 抛光液 蓝宝石 氧化铈
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张楷亮
供职机构:天津理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
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潘忠才
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:水玻璃 超纯 硅溶胶 常压 反应温度
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王良咏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 相变材料 相变存储器 抛光速率 硅酸
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秦飞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:命中 前飞 直升机 超宽带信号 超宽带
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