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龙亮

作品数：13 被引量：26H指数：4
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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共 6 条 记 录，以下是 1-6
钟少龙
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 加速度传感器 键合 微机电系统 MEMS工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴亚明
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭智慧
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：键合 长形 波长可调谐 半导体 高反膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐静
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 光学电流传感器 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李四华
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：驱动器 微机电系统 MEMS 苯并环丁烯 体硅工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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