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郭智慧

作品数：5 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程

主题

  • 4篇键合
  • 3篇光纤
  • 2篇调谐
  • 2篇闪耀光栅
  • 2篇速度传感器
  • 2篇批量化
  • 2篇滤波器
  • 2篇可调
  • 2篇可调谐
  • 2篇基底
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度传感器
  • 2篇光纤滤波器
  • 2篇光栅
  • 2篇盖板
  • 2篇感器
  • 2篇高反膜
  • 2篇半导体
  • 2篇波长
  • 2篇波长可调

机构

  • 5篇中国科学院
  • 1篇上海大学

作者

  • 5篇钟少龙
  • 5篇郭智慧
  • 4篇龙亮
  • 3篇杨恒
  • 1篇李拥华

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 2篇2019
  • 3篇2017
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法
本发明提供一种基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法，包括：1）提供半导体基底，在半导体基底的第一表面形成第一凹槽及第二凹槽；2）提供键合基底，在键合基底的第一表面形成第三凹槽；3）将半导体基底与键合基底键合；...
郭智慧龙亮杨恒钟少龙
基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法
本发明提供一种基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法，包括：1）提供半导体基底，在半导体基底的第一表面形成第一凹槽及第二凹槽；2）提供键合基底，在键合基底的第一表面形成第三凹槽；3）将半导体基底与键合基底键合；...
郭智慧龙亮杨恒钟少龙
文献传递
基于微机电系统的法布里珀罗可调光滤波器被引量：2
2017年
为实现调谐范围宽、调谐速度快、带宽窄、驱动电压低以及可批量化生产的可调光学滤波器,提出了一种新型微机电系统(MEMS)可调光学滤波器。由高反射率可动光学镜面与准直扩束光纤端面组成法布里-珀罗(F-P)腔。通过静电驱动改变F-P腔的腔长以调整滤波器的输出光波长,分析了可调光学滤波器的波长调谐原理和静电驱动原理,给出了器件的结构参数和综合设计考虑。利用体硅加工工艺成功制作了可调光学滤波器样品,并进行了实验测试。实验结果表明,通过改变准直扩束光纤的初始位置,3dB带宽与自由谱域之间具有可调性。该可调光学滤波器兼备了MEMS技术与光纤技术的优点,并且结构紧凑、工艺简单、驱动电压低,可用于光通信等场合。
郭智慧李拥华杨恒钟少龙
关键词：光纤光学微机电系统法布里-珀罗腔静电驱动
高精度波长形加速度传感器及其制备方法
本发明提供一种高精度波长形加速度传感器及其制备方法，包括：1）提供第一半导体基底，在第一半导体基底的表面形成第一凹槽；2）提供第二半导体基底，在第二半导体基底的表面形成闪耀光栅结构；3）将第一半导体基底与第二半导体基底键...
龙亮钟少龙郭智慧
文献传递
高精度波长形加速度传感器及其制备方法
本发明提供一种高精度波长形加速度传感器及其制备方法，包括：1）提供第一半导体基底，在第一半导体基底的表面形成第一凹槽；2）提供第二半导体基底，在第二半导体基底的表面形成闪耀光栅结构；3）将第一半导体基底与第二半导体基底键...
龙亮钟少龙郭智慧
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