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李亚光
作品数:
2
被引量:10
H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
佟丽英
中国电子科技集团公司第四十六研...
赵权
中国电子科技集团公司第四十六研...
王聪
中国电子科技集团公司第四十六研...
史继祥
中国电子科技集团公司第四十六研...
王俭峰
中国电子科技集团公司第四十六研...
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佟丽英
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 抛光片 电阻率 硅单晶 少子寿命
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相关人物
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所获资助
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王俭峰
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:LPCVD TEOS 二氧化硅薄膜 均匀性 淀积速率
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赵权
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:抛光片 锗 单晶片 表面粗糙度 清洗技术
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相关人物
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李秀强
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:LPCVD TEOS 二氧化硅薄膜 均匀性 淀积速率
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
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史继祥
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:少子寿命 电阻率 硼 晶向 Γ辐照
发表作品
相关人物
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所获资助
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王聪
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:硼 扩散 AL 染色液 P
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