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张伟锋

作品数：4 被引量：10H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 6个电子电信
  • 3个自动化与计算...
  • 2个机械工程
  • 1个化学工程
  • 1个电气工程
  • 1个建筑科学

主题

  • 6个晶圆
  • 5个半导体
  • 4个抛光
  • 4个清洗机
  • 3个单晶
  • 3个单晶圆
  • 3个电镀
  • 3个电路
  • 3个电气控制
  • 3个兆声清洗
  • 3个软件系统
  • 3个湿法清洗
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  • 3个自动化
  • 3个自动设备
  • 3个膜剥离
  • 3个金属
  • 3个晶圆清洗
  • 2个修整器
  • 2个旋转木马

机构

  • 6个中国电子科技...
  • 1个中华人民共和...

资助

  • 1个北京市教育委...
  • 1个电子信息产业...

传媒

  • 6个电子工业专用...
  • 3个清洗世界
  • 2个微纳电子技术
  • 1个半导体技术
  • 1个微细加工技术
  • 1个2003中国...
共 6 条 记 录，以下是 1-6
刘永进
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：光刻版 集成电路 全自动 单晶圆 喷头
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高津平
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：晶圆清洗 减薄 晶圆 QDR 节水阀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周国安
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP 化学机械平坦化 化学机械抛光 抛光液 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋文超
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：全自动 光刻版 半导体 自动设备 清洗机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
詹阳
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP 化学机械平坦化 抛光垫 承载器 ZETA电位
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈仲武
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：全自动 硅片 铆接机 组装机 生产线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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