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肖咸盛
作品数:
6
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H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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相关领域:
机械工程
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合作作者
杨拥军
中国电子科技集团第十三研究所
卞玉民
中国电子科技集团第十三研究所
李博
中国电子科技集团第十三研究所
张旭辉
中国电子科技集团第十三研究所
胡小东
中国电子科技集团第十三研究所
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杨拥军
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
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所获资助
研究领域
卞玉民
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 绝缘体上硅 硅 MEMS加速度传感器
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李博
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:微电子机械系统 MEMS陀螺仪 MEMS MEMS器件 角速度
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张旭辉
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:角速率 加速度 速率传感器 传感器 单片集成
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王玉奎
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS加速度传感器 MEMS 空气流量计 粮情检测系统 粮情检测
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沈路
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:角速度 单片集成 微电子机械系统 传感装置 传感器
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胡小东
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:微电子机械系统 微机械 MEMS 键合 微机械加工
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胥超
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:电极 微电子机械系统 划片 圆片级封装 共晶
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吝海锋
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 可靠性研究 电容式加速度计 硅
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