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9 条 记 录,以下是 1-9
杨拥军
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卞玉民
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 绝缘体上硅 硅 MEMS加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李博
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:微电子机械系统 MEMS陀螺仪 MEMS MEMS器件 角速度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张旭辉
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:角速率 加速度 速率传感器 传感器 单片集成
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王玉奎
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS加速度传感器 MEMS 空气流量计 粮情检测系统 粮情检测
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈路
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:角速度 单片集成 微电子机械系统 传感装置 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡小东
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:微电子机械系统 微机械 MEMS 键合 微机械加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胥超
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:电极 微电子机械系统 划片 圆片级封装 共晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吝海锋
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 可靠性研究 电容式加速度计 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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