李博
- 作品数：26 被引量：36H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 相关领域：机械工程航空宇航科学技术自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 微惯性测量装置
- 本实用新型公开了一种微惯性测量装置，包括：外壳；设置在外壳中的MEMS传感装置；对MEMS传感装置起减振作用的减振机构；通过电平转换模块与MEMS传感装置相连的信号处理模块，用于将MEMS传感装置的输出信号进行补偿并输出...
- 王晓杨拥军李博沈路
- 文献传递
- 具有三维止档结构的抗过载MEMS器件及其加工方法
- 本发明公开了一种具有三维止档结构的抗过载MEMS器件及其加工方法，属于微机械加工工艺技术领域。MEMS器件包括底座、盖帽以及位于底座和盖帽之间的结构层，底座与结构层之间、盖帽与结构层之间均为周边键合，底座的上表面、与活动...
- 杨拥军徐淑静李博何洪涛
- 文献传递
- MEMS振动传感器快速自动标定系统被引量：1
- 2013年
- 针对MEMS振动传感器批量化标定要求,建立了一套MEMS振动传感器快速自动标定系统,可实现传感器静态和动态指标的快速多通道标定。首先介绍MEMS振动传感器的基本工作原理、静态以及动态数学模型,并根据静态参数和动态参数的标定要求,利用振动台、标准传感器、上位机电脑以及后台程序建立了MEMS振动传感器自动标定系统;通过数字编程接口,可以实现振动传感器的自动标定。最后,以中国电子科技集团公司第十三研究所研制MSA1000系列振动传感器作为试验对象,对传感器的偏值、标度因数、幅频及相频特性进行了标定和比对测试,充分验证了此种方法的效果和正确性,有效提高了MEMS振动传感器的标定效率。
- 李博王娟沈路
- 关键词：振动传感器动态参数
- 一种集成式硅MEMS振动陀螺仪被引量：2
- 2013年
- 介绍了一种集成式硅MEMS振动陀螺仪。首先阐述了MEMS振动陀螺仪的工作原理;在此基础上,介绍了陀螺敏感结构形式:采用双端固定音叉结构,差分检测,实现对外界角速率的敏感,给出了结构设计和有限元(FEM)仿真结果;加工工艺采用圆片级真空封装SOI工艺,介绍了工艺流程;检测电路采用数字化ASIC电路,给出了电路原理框图;采用LCC30陶瓷外壳实现了陀螺的集成封装。最后介绍了陀螺的研制结果和典型参数,陀螺量程达到±500°/s,零偏稳定性和重复性达到5°/h,标度因数非线性为1.5×10-4,重复性为5×10-5,重量仅为1.85 g,功耗为0.125 W,可满足大部分工程应用要求。
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- 关键词：陀螺仪SOI工艺集成封装
- 基于MEMS电容式微加速度计的传感器和航姿仪
- 本发明公开了一种基于MEMS电容式微加速度计的传感器和航姿仪，该基于MEMS电容式微加速度计的传感器包括：基座；多个设置在所述基座上的MEMS电容式微加速度计，且各个所述MEMS电容式微加速度计的轴线之间具有预设夹角；为...
- 肖咸盛杨拥军李博
- 文献传递
- 一种新型三自由度谐振式MEMS陀螺被引量：2
- 2009年
- 针对谐振式MEMS陀螺检测带宽与检测灵敏度相矛盾的问题,根据两质量块谐振器具有对机械位移放大的特点,提出了一种新型结构的谐振式MEMS陀螺,采用单自由度驱动、双自由度检测,驱动模态谐振频率落在检测模态两个质量块谐振频率叠加形成的平坦区域内,有效增加了陀螺检测带宽,提高了陀螺的抗干扰性能。建立了新型谐振式MEMS陀螺结构动力学模型,对陀螺结构进行有限元仿真分析,在常压环境下对陀螺结构进行测试。结果表明,该结构有效增加陀螺检测带宽,改善了陀螺的抗干扰性能,克服了由于工艺加工精度不足带来的陀螺结构不对称所引起的误差,降低了对加工工艺和加工精度的要求。
- 朱奎宝杨拥军李博卢新艳高振宁
- 关键词：微机械陀螺品质因数谐振器
- MEMS陀螺仪参数标定工艺技术要求
- 本标准规定了MEMS陀螺仪制造过程中的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要求，以及工艺流程、工艺准备和参数标定的详细要求。本标准适用于MEMS陀螺仪制造过程中的零偏、标度因数、零偏温度灵敏度和标度因数温度灵敏度的标定。
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- 基于MEMS电容式微加速度计的传感器和航姿仪
- 本实用新型公开了一种基于MEMS电容式微加速度计的传感器和航姿仪，该基于MEMS电容式微加速度计的传感器包括：基座；多个设置在所述基座上的MEMS电容式微加速度计，且各个所述MEMS电容式微加速度计的轴线之间具有预设夹角...
- 肖咸盛杨拥军李博
- 文献传递
- 用于MEMS器件的在片测试系统及其测试方法
- 本发明公开了一种用于MEMS器件的在片测试系统及其测试方法，属于MEMS器件测试技术领域。该系统包括自动探针台、探卡、矩阵开关、测试模块及计算机，自动探针台上表面设有被测圆片，被测圆片与探卡连接，探卡与测试模块之间设有矩...
- 李博杨拥军徐爱东卢新艳
- 文献传递
- 一种数字陀螺仪相位延时测试系统
- 本发明适用于计算机技术领域，提供了一种数字陀螺仪相位延时测试系统，包括角振动台、标准模拟传感器、被测数字陀螺仪、测试设备和上位机；角振动台产生振动动作；被测数字陀螺仪检测角振动台的振动动作并输出振动数字信号；标准模拟传感...
- 卢新艳王宁董冰玉徐淑静李博陈鹏旭张志勇
- 文献传递
